웨이퍼 가열을 위한 안전 거리

고온 환경에서 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법 대량 생산 환경에서는 단 한 번의 고장만으로도 하루의 작업이 망쳐질 수 있습니다. 적외선 램프가 고장나면, 열을 가하는 기능은 멈출 뿐만 아니라, 석영 조각과 할로겐 가스가 웨이퍼 위로 튀어나옵니다. 이는 몇 초 만에 전...