웨이퍼의 온도를 추측하는 것은 그만두세요. 스마트 팹을 구축한다면, 더 이상 기존의 접촉형 온도 센서를 사용해서는 안 됩니다. 그런 센서들은 더 이상 쓸모가 없습니다. 웨이퍼를 측정할 때는 고속 적외선 센서를 사용해야 합니다. 이를 통해 기판에 닿지 않고도 실시간으로...

IR 램프가 고장 나면 모든 것이 엉망이 됩니다. 반도체 제조 공장에서 IR 램프가 고장 나는 것은 단순한 ‘기술적 오류’나 잠시간의 가동 중단에 그치지 않습니다. 그건 진짜 악몽입니다. 고부하 상태에서 석영 커버가 파손된다고 상상해 보세요. 유리 조각들과 할로겐 가...

수소 센서를 제작할 때는 온도가 정확해야 합니다. 추측할 여지가 전혀 없습니다. 우리는 그러한 엄격한 기준을 충족시키는 히터를 만들어내지만, 진짜 문제는 전기 누설이 전혀 없도록 하는 것입니다. 솔직히 말해서, 아주 작은 절연 실패만으로도 모든 센서가 망가질 수 있고...

왜 스마트 센서 제작에는 오븐 대신 적외선을 사용하는가? 솔직히 말해서, 전통적인 대류식 오븐은 이제는 구식이라고 할 수 있습니다. 스마트 센서의 포장 과정에서 우리는 그러한 오븐들을 버리고 적외선을 활용하는 방식으로 전환하고 있습니다. 특히 최근의 친환경 에너지 규...

무연 반표준 부품에 적외선 경화 방식을 사용하는 이유 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 매우 까다로운 문제가 있습니다. 모든 수분과 용매를 제거해야 하지만, 단 한 방울의 잔여물도 남겨둘 수 없습니다. 또한, 웨이퍼에 과도한 열을 가하면 전체 구조가 망가질 수 있습...

웨이퍼 제조 과정에서는 오차가 용납되지 않습니다. 포토레지스트의 소프트 베이크와 하드 베이크 과정에서 열 관리가 매우 중요하며, 단 몇 도만큼의 오차가 생겨도 마이크로유체 채널과 센싱 층의 형상이 제대로 유지되지 않습니다. 적외선 가열 방식도 가능하지만, 램프가 일관...