웨이퍼 오븐에서 열이 낭비되는 것을 막으세요. 클린룸에서 에너지가 낭비된다는 것은 단순히 전기 요금 문제만은 아닙니다. 이는 심각한 문제입니다. 실리콘 웨이퍼를 가열할 때, 목표 지점에 도달하지 못하는 열은 그냥 사라지는 것이 아닙니다. 그 열은 주변으로 퍼져나가서...

리소그래피 공정에서 포토레지스트를 건조하는 과정은 단순히 선택적으로 수행할 수 있는 작업이 아니라, 제품의 품질을 결정하는 핵심 요소입니다. 만약 소프트 베이크의 온도가 일정하지 않거나 하드 베이크 과정에서 균일성이 유지되지 않는다면, 그 결과로 치수 오차나 불순물이...