반도체 리소그래피용 오븐 램프

리소그래피 공정에서 포토레지스트를 건조하는 과정은 단순히 선택적으로 수행할 수 있는 작업이 아니라, 제품의 품질을 결정하는 핵심 요소입니다. 만약 소프트 베이크의 온도가 일정하지 않거나 하드 베이크 과정에서 균일성이 유지되지 않는다면, 그 결과로 치수 오차나 불순물이...