매트슨 RTP 램프 교체

생산 라인에서는 열 드리프트가 경고등으로 표시되지 않습니다. 대신 수율 저하나 CD 제어의 불안정성으로 나타납니다. Mattson RTP 램프는 건조 및 포토레지스트 가열 과정이 적절한 온도 범위 내에서 이루어지도록 설계되었습니다. 중요한 요소들 우리는 석영관을 사용...