웨이퍼 가열을 위한 안전 거리
고온 환경에서 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법
대량 생산 환경에서는 단 한 번의 고장만으로도 하루의 작업이 망쳐질 수 있습니다. 적외선 램프가 고장나면, 열을 가하는 기능은 멈출 뿐만 아니라, 석영 조각과 할로겐 가스가 웨이퍼 위로 튀어나옵니다. 이는 몇 초 만에 전...
방수형 가열 테이블 IP44
왜 우리는 IP44 등급의 난방 테이블을 수리하기 어렵게 만드는 것을 그만뒀는가?
솔직히 말해서, 가게 내부는 엉망진창입니다. 습기와 먼지, 그리고 오물들이 곳곳에 있으며, 이러한 것들이 전자 부품에 들어가는 것을 막아야 합니다.
하지만 문제는, 전자 부품을 보호하기...
에너지 절약형 반도체 히팅
왜 우리가 대류식 오븐 대신 적외선 건조 방식을 사용하는가?
반도체 공장에서 일해본 사람이라면 잘 알고 있을 것입니다. 오랫동안 우리는 그런 대형 대류식 오븐에 의존해 왔습니다. 하지만 업계가 무연이고 친환경적인 건조 방식으로 전환함에 따라, 그런 오래된 오븐들은 더...
교체용 히팅 요소 IP65
왜 적외선 히터들이 계속 고장 나는가? 그리고 이를 어떻게 해결할 수 있을까? 히터의 부품을 교체할 때 알아야 할 작은 비밀이 있습니다. 사실 대부분의 경우, 히터의 필라멘트 자체는 문제가 없습니다. 진짜 문제는 전선이 석영이나 세라믹 튜브 안으로 들어가는 부분입니다...
와이퍼 산화 가열 소자
열적 제한은 단순한 권고사항이 아니라, 반드시 준수해야 할 한계입니다. 산화 과정에서 온도가 0.5도만 벗어나거나, 오븐의 특정 부분이 너무 뜨겁고 다른 부분은 너무 차가운 경우, 이는 웨이퍼의 두께 변화나 선의 폭 변동, 그리고 생산율 저하로 금방 나타납니다. 이러...
고속 가열 히터
Introduction 스위치를 켜면 즉시 열이 전달되는 상황을 상상해 보자. 지체 없이 바로 가열되는 것이다. 이것이 바로 우리가 만든 시스템이다.
우리가 말하는 것은 산업 현장에서 몇 초의 지연도 작업 흐름을 방해할 수 있는 환경을 위해 설계된 고속 가열 적외선...