웨이퍼 오븐에서 열이 낭비되는 것을 막으세요.
클린룸에서 에너지가 낭비된다는 것은 단순히 전기 요금 문제만은 아닙니다. 이는 심각한 문제입니다.
실리콘 웨이퍼를 가열할 때, 목표 지점에 도달하지 못하는 열은 그냥 사라지는 것이 아닙니다. 그 열은 주변으로 퍼져나가서 오븐의 구조를 손상시키거나, 냉각 시스템의 경보를 울려서 생산 공정을 멈추게 만듭니다.
우리는 적외선 히터에 반사율이 높은 금 코팅을 입혀서 이 문제를 해결했습니다.
왜 금인가요?
대부분의 경우 알루미늄을 사용하지만, 알루미늄은 적외선 에너지의 상당 부분을 흡수해버립니다. 따라서 효율성이 떨어집니다.
반면 금은 거울처럼 적외선을 반사합니다. 광자들이 여기저기 흩어지는 대신, 웨이퍼에 직접 도달하게 됩니다.
그 결과, 같은 와트 수로도 훨씬 더 많은 열을 얻을 수 있습니다. 즉, 전압을 높이거나 더 강력한 램프를 사용할 필요가 없습니다. 훨씬 더 효율적입니다.
단점과 해결 방법
물론 몇 가지 단점도 있습니다. 금을 사용하면 히터의 크기를 작게 유지하면서도 높은 열 밀도를 유지할 수 있습니다. 하지만 이러한 표면은 매우 섬세하기 때문에, 클린룸의 규칙을 지키지 않아서 먼지나 화학물질이 금 코팅 위에 쌓이면 반사율이 떨어집니다.
절대로 연마성 화학물질로 표면을 닦지 마세요. 그러면 코팅이 벗겨질 수 있습니다.
또한, 정확한 정렬도 매우 중요합니다. 램프가 몇 밀리미터만 비뚤어져 있어도 초점 효과가 사라집니다. 장착 브래킷이 단단히 고정되어 있는지 확인하세요.
실제로 얻을 수 있는 이점
에너지를 정확하게 집중시키면, 웨이퍼가 목표 온도에 도달하는 시간이 줄어듭니다. 그뿐만 아니라, 오븐 내부로 빠져나가는 열이 줄어들기 때문에, 주변의 전자장치가 과열되는 것을 막기 위해 냉각 팬을 과도하게 작동시킬 필요도 없습니다.
결국 모든 것이 더 시원하고, 빠르게, 그리고 조용하게 작동하게 됩니다.