왜 적외선 히터들이 계속 고장 나는가? 그리고 이를 어떻게 해결할 수 있을까? 히터의 부품을 교체할 때 알아야 할 작은 비밀이 있습니다. 사실 대부분의 경우, 히터의 필라멘트 자체는 문제가 없습니다. 진짜 문제는 전선이 석영이나 세라믹 튜브 안으로 들어가는 부분입니다...

생산 라인에서는 열 드리프트가 경고등으로 표시되지 않습니다. 대신 수율 저하나 CD 제어의 불안정성으로 나타납니다. Mattson RTP 램프는 건조 및 포토레지스트 가열 과정이 적절한 온도 범위 내에서 이루어지도록 설계되었습니다. 중요한 요소들 우리는 석영관을 사용...

제조 현장에서 그 스텝퍼 램프는 단순히 빛을 제공하는 역할뿐만 아니라, 각 노출 과정에서의 온도 기준을 설정해 줍니다. 만약 램프의 출력이 변동한다면, 그에 따라 베이크 과정도 영향을 받습니다. 그 결과, 소프트 베이크와 하드 베이크의 균일성이 저하되고, CD 제어도...