레이저 웨이퍼 다이싱용 서포트 히터

생산 라인에서는 레이저가 작동할 때 결함이 발생하는 경우는 거의 없습니다. 결함은 그보다 더 일찍 발생합니다. 즉, 기판의 온도가 너무 낮거나, 평탄하지 않거나, 포토레지스트의 열적 특성 범위를 벗어날 때입니다. 이러한 문제로 인해 미세한 균열이 생기거나, 가장자리가...