무연 반표준 부품에 적외선 경화 방식을 사용하는 이유 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 매우 까다로운 문제가 있습니다. 모든 수분과 용매를 제거해야 하지만, 단 한 방울의 잔여물도 남겨둘 수 없습니다. 또한, 웨이퍼에 과도한 열을 가하면 전체 구조가 망가질 수 있습...

석판 위에서 웨이퍼는 세척 공정을 거친 뒤 건조 공정으로 넘어갑니다. 만약 특정 부분의 온도가 너무 높아지거나 낮아지면, 포토레지스트 패턴이 손상될 수 있습니다. 이를 방지하기 위해 우리는 MEMS 웨이퍼용 건조 히터를 개발했습니다. 이 업계에서는 예외를 둘 수 없기...