UHP(초고순도) 히터 램프

가열 과정에서 웨이퍼가 오염되는 것을 막는 방법 반도체 제조 공장에서는 램프가 파손될 경우 단순한 문제가 아니라 큰 재난이 됩니다. 과도한 부하로 인해 석영관이 파손되면, 램프는 더 이상 작동하지 않을 뿐만 아니라, 파편들이 웨이퍼에 튀어서 웨이퍼가 오염됩니다. 우리...