停止ランプの破損によるウェーハの損失を防ぐ
大量生産ラインでは、ランプが破損すると大変な問題になります。単に機械がしばらく動かなくなるだけでなく、さらに大きな問題が発生します。
石英管が壊れると、ガラスの破片やハロゲンガスがウェーハ上に降り注ぎます。一度破損すると、そのロット全体が無駄になってしまいます。その後はチャンバー全体を掃除しなければならず、これは誰もやりたくない作業です。私たちは、そういうことが起こらないように、特別なデジタルコントローラーやランプの設計を行っています。
温度を安定させる
ほとんどのランプの破損は、熱衝撃や局部的な過熱によって引き起こされます。もし高電圧を直接ランプにかけると、石英管が急激に膨張して割れてしまいます。これは、冷たいガラスに熱湯を注ぐのと同じです。
私たちは、昇温・降温時の電力の変化を滑らかにするデジタルコントローラーを使用しています。これにより、ランプへの負荷が軽減されます。また、高純度の石英管を使用しているのも理由の一つです。高純度の石英管は、安価なものよりも多くの熱ストレスに耐えられます。しかし、高ワット数の電流を短い管を通して流すと、シール部に大きな圧力がかかります。したがって、空気の流れを一定に保つ必要があります。管の一部が他の部分よりも早く冷却されると、ストレスが生じ、そこが破損する原因になります。
汚染を防ぐ
万が一、管が破損しても、運に任せるわけにはいきません。
私たちは、物理的な遮蔽や特殊なケースを使って、ランプを隔離しています。何かが壊れても、破片はその場に留まり、ウェーハに付着することはありません。
また、電気的な側面でも対策を講じています。高耐久性のコネクターを使用して、アーク放電を防ぎます。アーク放電は目に見えない殺人者であり、微小な粒子を作り出し、それが生産エリアに飛び散ってしまいます。
こうした接続部をしっかりと固定し、正確なPID制御を行うことで、温度を安定させることができます。そうすれば、ランプは適切な温度を探す必要がなくなり、フィラメントが正常に機能し、破損を未然に防ぐことができます。