グローブボックス内での熱損失を止めましょう。
もし、これまでにグローブボックス内でシリコンウェーハを加熱したことがあるなら、その苦労はご存知でしょう。通常のクォーツランプは、熱をあらゆる方向に放出します。その結果、エネルギーの半分が無駄になり、ウェーハではなく、ボックスの外壁や内部が温められてしまいます。これは電力の無駄遣いであり、設備の運用にとっても問題です。
私たちは、金をコーティングした反射板を取り入れることでこの問題を解決しました。そうすることで、熱が無駄に散らばるのを防ぎ、直接ウェーハに戻されます。
なぜ金なのか？
簡単です。金は赤外線を反射する能力が非常に優れています。反射板の裏側に薄い高純度の金層を付けることで、より多くのエネルギーをターゲットに集中させることができます。つまり、ウェーハが目標温度に到達するのが速くなります。電力だけでなく、時間も節約できます。
重要な部分を冷却する
グローブボックスは狭い空間です。熱損失を補うために過剰な電力をランプに供給すると、チャンバーの他の部分が非常に高温になってしまいます。金コーティングによってエネルギーが効率的に集中されるため、過剰な電力供給の心配は不要です。ウェーハのみが適切な温度に保たれ、他の機器には影響がありません。
注意点
もちろん、これは魔法ではありません。いくつか注意点があります。熱が集中するため、「最適な位置」は狭くなります。ウェーハが正確に焦点上にない場合、均一でない加熱になってしまいます。Z軸の位置を正確に調整する必要があります。また、金は少しデリケートです。腐食性のあるガスを使用している場合、その化学物質がコーティングを侵食し、剥がれやひび割れを引き起こす可能性があります。そのような場合は、反射板を保護しておけば問題ありません。
使い方
これらは、既存のIRアレイに簡単に交換可能なように設計されています。高電流が流れても端子が壊れないよう、耐久性の高いコネクタを使用しています。PIDコントローラーと接続すれば、すぐに違いがわかります。サイクルごとの温度上昇時間が大幅に短縮されます。