半导体洁净室手推车式加热器

保持晶圆的温度：关于红外加热器的真相 如果您正在运营一家现代化的半导体工厂，那么您肯定知道：在晶圆移动过程中保持其温度稳定是至关重要的。但在洁净室里做到这一点其实并不容易。 因此，我们选择使用红外加热器来解决问题。红外加热的优点在于它属于辐射式加热方式——无需吹送热空气，而热空气会带来大量颗粒物，...