在晶圆制造车间里，冲洗之后可不能浪费时间等待。残留的水分会引发现象，还会导致光刻胶无法正常附着在晶圆表面。这样一来，甚至在光刻开始之前，就会造成产量下降的问题。旋转干燥过程会消耗大量时间，降低生产效率，还会带来不必要的不确定性。我们设计了快速干燥的晶圆处理装置，从而缩短处理时间，同时保持晶圆表面的...

Introduction 设想一下：你打开开关，热量立即到位。没有等待缓慢升温的过程。这正是我们所设计的。 我们说的是快速加热的红外加热器，专为工业场所设计，在这里几秒钟的延迟就可能打乱整个节奏。实现快速加热的关键技术是基于卤素的红外技术。它能瞬间释放一波热量，几乎感觉不到延迟。 What...