ニコンステッパーランプの交換
ファブの現場では、そのステッパーランプは単にレティクルを照らすだけでなく、各露光処理における熱的な基準値を設定する役割も果たします。もしランプの出力が変動してしまうと、バーク処理のパラメータもそれに合わせて変わってしまいます。その結果、ソフトバークやハードバークの均一性が失われ、CD制御も乱れてし...
壁掛けヒーターを接続する
太陽光発電を利用した家では、冬の夜には実用的な問題が生じます。バッテリーの充電を減らさずに、どうやって暖かく過ごせるかということです。日が沈むと、快適さはすぐに失われてしまいます。もちろん、電気ヒーターがシステムが処理できる範囲内の電力を消費し、すぐに熱を生み出せれば別です。
技術的に重要な点 私...
IC用短波赤外線ランプ
製造現場では、12インチのウェーハが置かれており、フォトレジストの加熱処理を待っている。ここで重要なのは、表面の温度が1℃でも変動すると、線幅の制御や歩留まりに悪影響を与えるということです。必要なのは、素早く熱を与え、それを定着させつつ、粒子を一切発生させないような加熱方法です。
技術的に重要な点...
RTPシステム用ハロゲンランプ
実際の現場において、熱ドリフトというのは単なる実験室での現象ではありません。それは重大な問題です。RTPを使用する際、ハロゲンランプは、プロセス中に粒子を発生させたり、ばらつきを引き起こしたりすることなく、安定した熱を迅速に供給しなければなりません。
本当に重要なのは何か 私たちは、高純度のハロゲ...
MEMSウェーハ乾燥ヒーター
リソグラフィーの工程で、ウェーハは洗浄工程を経て乾燥工程に移ります。もし、どこか一か所でも温度が不安定になると、フォトレジストのパターンが変形してしまいます。そうした事態を防ぐために、私たちはMEMSウェーハ用の乾燥ヒーターを開発しました。この業界では、例外を許されないからです。
内部で重要なのは...
リモコン付きヒーター
日が沈む頃にパティオに出ても、必ずしもその日の活動を終える必要はありません。寒さはあらゆる活動を妨げる要因ですが、もし屋外用ヒーターが簡単に操作できるものであれば、問題ありません。スマートホームシステムと連携したリモコン式の赤外線ヒーターを使えば、必要な時にすぐに暖かさを得ることができます。待つ必...
ウェーハ酸化用加熱素子
実際には、熱的な制約というのは単なる提案ではなく、絶対に超えてはならない境界線です。酸化処理中に半度でも温度が変動したり、ある場所だけが過度に高温になったりすると、ウェーハの厚みの減少やライン幅のばらつき、歩留まりの低下といった問題がすぐに現れます。その結果、リソグラフィーの稼働時間やフォトレジス...
カーボンファイバー製の屋外用ヒーター
最高のホームシアター体験というのは、まるで別の世界にいるかのような感覚を与えてくれます。しかし、部屋が冷え込み、エアヒーターが作動すると、その風によってほこりが舞い上がり、カーテンが動き出し、一定の音が発生して、再び現実世界に戻されてしまいます。温かさは欲しいですが、映画や音楽の世界に没頭できる静...
バイオセンサーの製造に用いられる赤外線ランプ
ウェーハを扱う際、バイオセンサーの製造ではわずかな誤差も許されません。フォトレジストのソフトベイクやハードベイクにおいては、適切な温度管理が不可欠です。たとえ数度でも目標温度から外れてしまうと、マイクロ流体チャネルやセンシング層の寸法精度が急速に悪化してしまいます。赤外線加熱も有効ですが、その場合...
洗浄ランプ後の速乾ウェーハ
ファブ内では、洗浄後に時間を無駄にする余裕はありません。残留した水分は不純物の原因となり、フォトレジストの乾燥を妨げます。つまり、露光処理が始まる前からすでに歩留まりの低下が起こってしまいます。スピンドライの工程によって時間がかかり、生産効率が低下し、不要なばらつきも生じます。そこで、私たちはこの...
リビング用のヒーター
冬が近づくと、リビングルームは最も快適に過ごせる場所になります。そのため、快適さをすぐに実現する必要があります。ソファの冷たい部分や、隙間から入ってくる風、または空気だけを温めるヒーターでは、温度計の数値が正常であっても、体が寒く感じられます。私たちが開発したこの電気ヒーターは、「赤外線による暖か...
マントル型電気暖炉
ライトが消え、スクリーンが点灯すると、その映画館はまるで聖域のように感じられるはずです。しかし、実際には部屋の雰囲気が冷たくなってしまうことがよくあります。それは温度だけでなく、雰囲気全体にも表れます。強制的に送風される空気によってほこりや風が発生し、その音が映画の世界から人を引き離してしまいます...
ファブでのパッケージング前に半導体を乾燥させる
パッケージングラインでは、清掃後に残ったわずかな水分だけで、デルaminatingやワイヤーボンドの故障が発生し、歩留まりが悪化してしまいます。24時間365日稼働する工場では、熱変動や粒子の影響は単なる「リスク」ではなく、製造を妨げる要因となります。そのため、乾燥処理は再現性があり、清潔で迅速に...
寝室のヒーターは静かです
家の中が夜に静かになると、間違ったヒーターは暖かさの不足だけでなく、騒音、隙間風、空気の過乾燥という問題を引き起こす。寝室には、安定して均一で、静かすぎて存在を感じさせない暖房が必要だ。
技術的に重要なポイント 赤外線ヒーターは太陽と同じ原理で暖める—つまり、空気を循環させるのではなく、人や物体に...
偽の炎ヒーター
私たちはこの状況を経験したことがある。照明が落ち、スクリーンが点灯し、部屋はその役割を果たす準備が整う。しかし強制空気式ヒーターが作動すると、その瞬間は消えてしまう。会話は不明瞭になり、低音はかき消され、劇場にいるはずがまるで作業場にいるかのように感じる。暖かさは欲しいが、体験の質を犠牲にしたくは...