高温環境下でウェーハを清潔に保つ方法
大量生産の状況では、たった一つの故障が一日の仕事を台無しにしてしまうこともあります。赤外線ランプが壊れると、加熱が停止するだけでなく、石英の破片やハロゲンガスがウェーハに飛び散ります。これは、数秒間で一括の製品が廃棄されてしまう悲惨な状況です。
私たちは、そのような問題が製品に及ばないように、特別に設計されたIR加熱システムを使用しています。
適切な距離の調整
加熱効率を高めるために、ランプを基板上にできるだけ近くに設置したくなります。しかし、そうすると故障時に破片が直接ウェーハに当たるリスクが高まります。
私たちは、適切な安全距離を考慮しています。これは、必要な熱伝達を得つつ、物理的な緩衝層を確保するためのものです。もしランプが壊れても、筐体が破片を受け止めてくれるので、ウェーハは傷つきません。
追加の保護層の設置
高負荷の状況では、機器がダメージを受けやすくなります。焼き付きのリスクに対処するために、私たちは単に最善を願うだけでなく、保護層を設けています。
私たちは高純度の石英製のシールドや保護フレームを使用しています。これはまるでセーフティネットのようなものです。内部の部品が壊れても、シールドが破片を受け止めてくれます。そうすれば、ウェーハは無事でいられます。
ストレスへの対処
高ワット数のランプは、毎回の動作で膨張・収縮を繰り返し、最終的には疲労が原因で故障します。これに対処するために、私たちは強化されたエンドキャップや精密な電圧制御を用いています。しかし、冷却システムも十分に機能しなければなりません。もし筐体が過度に熱くなると、保護層の機能が低下し、危険な状況になります。
また、ランプの構造をシンプルにしています。ランプが壊れても、新しいものに簡単に交換できます。安全距離を再調整したり、位置を合わせたりする必要はありません。そのまま交換して、作業を続けるだけです。