چگونه فرآیند خشک کردن ویفرها را به درستی انجام دهیم: راز، استفاده از منعکسکنندههاست!
اگر در زمینه خشک کردن ویفرها کار میکنید، میدانید که این کار چقدر دشوار است. برای دستیابی به نتایج مطلوب، لازم است که گرادیانهای حرارتی دقیقاً مشخص باشند. برای این منظور، از لامپهای مادون قرمز کوتاهامواج همراه با منعکسکنندههای خاصی استفاده میشود.
در کارخانههای مدرن، همه درباره استفاده از اطلاعات برای کنترل حرارت صحبت میکنند؛ اما این فقط یک رویاست، اگر انرژی تولید شده به همه جهات پراکنده شود.
جلوگیری از هدر رفتن انرژی
منعکسکنندهها را میتوان به عنوان وسیلهای برای کنترل جهت پرتوهای حرارتی در نظر گرفت. بدون استفاده از منعکسکنندهها، بخش بزرگی از تشعشعات مادون قرمز از بین میرود؛ این امر در واقع هدر رفتن انرژی است. با تمرکز این تشعشعات بر روی ویفر، میتوانیم چگالی حرارتی بالاتری در همان نقاط مورد نیاز داشته باشیم. بهترین نکته این است که میتوانیم توان لامپها را کاهش دهیم و در عین حال سرعت خشک شدن ویفرها را حفظ کنیم؛ این روش بسیار کارآمدتر است.
البته، لایه پوششی روی ویفر باید عالی باشد؛ معمولاً از طلا یا آلومینیوم برای این منظور استفاده میشود، زیرا این مواد بهترین عملکرد را در کنترل تشعشعات مادون قرمز دارند. اما باید مراقب آنها باشیم؛ اگر لایه پوششی شروع به پوسته پوسته شدن یا اکسیداسیون کند، یکنواختی حرارتی از بین خواهد رفت.
افزایش فضای کاری
همه میخواهند فضای کمتری برای کار داشته باشند؛ وقتی منعکسکنندهها به درستی کار کنند، نیازی به استفاده از تعداد زیادی لامپ نخواهد بود. این امر به سنسورها و سیستمهای کنترلی اجازه میدهد تا کار خود را بهتر انجام دهند. علاوه بر این، از آنجایی که کل محفظه دچار گرمای بیش از حد نمیشود، سیستمهای خنککننده نیازی به تلاش زیادی برای حفظ ثبات دما نخواهند داشت.
اما یک نکته مهم وجود دارد: چگالی بالاتر تشعشعات، خطر ایجاد نقاط گرم بیشتری را به همراه دارد. باید مطمئن شویم که کنترلکنندههای PID برای تغییرات سریع دما تنظیم شدهاند؛ اگر هندسه منعکسکنندهها خیلی پیچیده باشد، ویفر قبل از اینکه سنسورها متوجه مشکل شوند، آسیب خواهد دید.
حفظ روند کار
ما این منعکسکنندهها را به گونهای طراحی کردهایم که به راحتی قابل استفاده باشند. در نهایت، هر منعکسکنندهای کمکم کارایی خود را از دست میدهد؛ این امر معمولاً به دلیل خارج شدن گازها یا آلودگیهای مختلف رخ میدهد. در چنین شرایطی، کافی است منعکسکننده را تعویض کنیم؛ نیازی نیست کل سیستم گرمایشی را دوباره تنظیم کنیم. فقط باید مطمئن شویم که منعکسکننده در جای مناسب قرار دارد؛ این تنها راه برای اطمینان از این است که آنچه در نمودارهای دیجیتال میبینیم، واقعاً با وضعیت واقعی مطابقت داشته باشد.