چرا ما از روش خشک کردن با نور مادون قرمز برای تولید تراشههای بدون سرب استفاده میکنیم؟
روش تولید نیمههادیها در حال تغییر است. ما در حال کنار گذاشتن روشهای قدیمی خشک کردن با استفاده از حلالها و مواد حاوی سرب هستیم. برای ما، این به معنای استفاده بیشتر از روش خشک کردن با نور مادون قرمز است.
تفاوت بزرگ این روش این است که نور مادون قرمز مستقیماً به سطح ویفر برخورد میکند. فکر کنید به یک فر معمولی؛ برای رسیدن به دمای مورد نظر، باید هوای کل محفظه را گرم کرد. این کار هم زمانبر است و هم انرژی زیادی مصرف میکند. اما لامپهای مادون قرمز، انرژی را مستقیماً در جایی که نیاز است، تخصیص میدهند. این روش کارآمدتر و سریعتر است.
جنبههای علمی (به زبان ساده)
نحوه کارکرد این روش این است: طیف تابش لامپ را با آنچه که ماده ویفر جذب میکند، هماهنگ میکنیم. با استفاده از لامپهای با امواج کوتاه یا متوسط، میتوانیم گرما را در عرض چند ثانیه به لایههای چسب یا فوتورزیست منتقل کنیم.
دیگر نیازی نیست منتظر باشیم تا فر به دمای مورد نظر برسد؛ این کار به صورت خودکار انجام میشود.
جنبههای زیستمحیطی
یکی از مزایای این روش، حذف مواد شیمیایی مضر و حلالهای سمی است. انرژی مادون قرمز، فرآیندهای پلیمریزاسیون و تبخیر را به تنهایی انجام میدهد. دیگر نیازی به استفاده از کاتالیزورهای شیمیایی نیست. این روش، روشی تمیزتر است.
مشکلات موجود
البته، این روش کاملاً ساده نیست. اگر از روش مادون قرمز استفاده کنید، باید سیستم مدیریت حرارت خود را دوباره بررسی کنید. این لامپها مقدار زیادی گرما تولید میکنند. اگر فنهای خنککننده یا سیستمهای آبی مناسبی نداشته باشید، ممکن است مشکلاتی پیش بیاید؛ ممکن است لبههای ویفر آسیب ببیند یا لامپها ذوب شوند. این یک تعادل حساس است.
به همین دلیل، همیشه توصیه میشود از کنترلکنندههای PID دقیق استفاده کنیم. نمیتوانیم اجازه دهیم توان لامپ ناگهان افزایش یابد؛ در غیر این صورت، ممکن است لایههای نازک ویفر آسیب ببینند.
چگونگی استفاده از این روش
بهترین نکته این است که این سیستمها میتوانند به راحتی در جایی که قبلاً تونلهای حرارتی وجود داشت، نصب شوند. این کار باعث میشود فضای کافی برای سایر ابزارها فراهم شود و هزینه برق نیز کاهش یابد.
علاوه بر این، از آنجایی که هوای گرم در سراسر محیط پخش نمیشود، دیگر نیازی نیست نگران رسیدن ذرات به سطح ویفر باشیم. همه چیز در جای خود باقی میماند و تمیز میماند. این کار باعث میشود کل فرآیند روانتر انجام شود.