وقتی که لامپ مادون قرمز خراب میشود، همه چیز به هم میریزد.
در صنعت تولید تراشهها، خرابی لامپ مادون قرمز فقط یک اختلال فنی یا توقف کوتاهمدت نیست؛ بلکه یک فاجعه است.
تصور کنید که غلاف کوارتزی لامپ در منتهای فرآیند تولید خراب شود؛ در این صورت، تکههای شیشه و گاز هالوژن مستقیماً روی ویفرها میافتند. در نتیجه، کل محموله تولید شده بیفایده خواهد بود. این وضعیت بسیار وحشتناک و پرهزینه است.
ما سنسورها و لامپهایی را طوری طراحی کردهایم که از وقوع چنین وضعیتی جلوگیری شود.
دلایل خرابی لامپها
معمولاً، دلیل خرابی لامپها، شوک حرارتی یا نقاط گرم موضعی است. وقتی که ویفرها را با تراکم زیاد گرم میکنیم، انرژی به طور یکنواخت توزیع نمیشود. کوارتز نیز با سرعتهای متفاوتی گسترش مییابد؛ در نتیجه ترکهای کوچکی ایجاد میشود و فشار داخلی باعث خرابی لامپ میشود.
برای جلوگیری از این مشکل، از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ این ماده، گرما را بهتر تحمل میکند و در صورت تغییرات ناگهانی دما، دچار مشکل نمیشود.
جلوگیری از پخش شدن آشفتگی
ما فقط امیدواریم که لامپ سالم بماند؛ بلکه برای شرایطی که لامپ خراب شود، نیز برنامهریزی کردهایم.
ما لامپهای مادون قرمز را در غلافهایی با مقاومت حرارتی بالا و عدم واکنش شیمیایی قرار میدهیم؛ این غلافها مانند یک تور ایمنی عمل میکنند. اگر لامپ داخلی خراب شود، این غلافها تکههای شیشه را جذب میکنند؛ در نتیجه، ویفرها تمیز میمانند و نیازی به تمیز کردن کل خط تولید نیست.
همچنین، ما از کابلهای با کیفیت بالا استفاده میکنیم؛ این کابلها از ایجاد ارتعاشات الکتریکی جلوگیری میکنند.
توازن بین کارایی و ایمنی
البته، استفاده از این غلافها باعث کاهش کمی کارایی لامپ میشود؛ اما این قیمتی است که برای جلوگیری از توقف کامل خط تولید باید پرداخت شود.
فقط مراقب تنظیمات توان لامپها باشید؛ تمایل داریم که لامپها را با توان ۱۱۰٪ کار کنند تا این کاهش کارایی جبران شود، اما این کار را نکنید؛ زیرا این کار باعث کوتاه شدن عمر لامپ و خرابی مجدد آن میشود.
بهترین راه این است که کنترلکنندههای لامپها را به گونهای تنظیم کنید که بتوانید میزان جریان الکتریکی را به صورت زمان واقعی مشاهده کنید؛ در این صورت، میتوانید لامپهای خراب را قبل از ایجاد فاجعه تعویض کنید.