دیگر نیازی به حدس زدن دمای ویفرها نیست!
اگر قصد ساخت یک کارخانه هوشمند را دارید، باید از استفاده از ترموکوپلهای سنتی خودداری کنید؛ چرا که آنها دیگر کاربردی ندارند. برای اندازهگیری دمای ویفرها، از سنسورهای مادونقرمز پرسرعت استفاده میشود؛ این روش به ما امکان میدهد تا نقشههای حرارتی در زمان واقعی را بدون لمس کردن سطح ویفر، دریافت کنیم.
اگر میخواهید که دادههای دیجیتالی مربوط به ویفرها با واقعیت مطابقت داشته باشد، نیاز به جریان مداوم دادههای با فرکانس بالا دارید. روش غیرتماسی، تنها راه برای دریافت چنین دادههایی است.
جزئیات مربوط به سنسورهای مادونقرمز
همه چیز به قانون پلانک برمیگردد؛ یعنی تبدیل تشعشعات مادونقرمز به اطلاعات مربوط به دما. اما مشکل اینجاست که باید تنظیمات مربوط به صداهای ناشی از سنسورها را به درستی انجام دهید؛ در غیر این صورت، دادهها بیفایده خواهند بود.
برای اینکه دادهها دقیق باشند، از سنسورهای پیرومتری با باند عرضی باریک استفاده میکنیم؛ این روش به ما امکان میدهد تا نویزهای ناشی از عناصر گرمایشی را فیلتر کنیم و سنسور فقط روی ویفر تمرکز کند.
استفاده مؤثر از دادهها
این سنسورها صرفاً ابزارهای تزئینی نیستند؛ ما این سنسورها را طوری طراحی کردهایم که سیگنالهای دیجیتال خام را مستقیماً به سیستمهای PLC یا SCADA ارسال کنند.
اینجاست که چیزها جالب میشوند؛ شما میتوانید از کنترل PID برای کنترل دما استفاده کنید. اگر نقطههای گرم شروع به تشکیل شدن کنند، میتوانید در عرض چند میلیثانیه تنظیمات لازم را انجام دهید. این کار بسیار سریع انجام میشود.
فقط یک نکته: مقدار زیادی داده میتواند شبکه را مختل کند؛ مطمئن شوید که از شبکههای با پهنای باند بالا استفاده میکنید، در غیر این صورت با تأخیر در انتقال دادهها مواجه خواهید شد.
مزایا و معایب (چون هیچ چیز کامل نیست!)
مزایای این روش بسیار زیاد است؛ دیگر نیازی به آلودگی سنسورها نیست، و همچنین دیگر خطر شکستن ویفرها وجود ندارد. بازدهی کارخانه نیز بهتر خواهد شد.
اما چند نکته وجود دارد که باید به آنها توجه کرد. سنسورهای مادونقرمز نیاز به خط دید واضحی دارند؛ اگر شکل ابزارها عجیب باشد یا ساختار داخلی آنها مانعی ایجاد کند، نقاط کوری در دید سنسور وجود خواهد داشت. بنابراین باید در مرحله طراحی، محل قرارگیری سنسورها را به درستی انتخاب کنید.
همچنین، اگر پنجرههای مربوط به ویفرها به دلیل محصولات جانبی فرآیند، کدر شوند، دادههای دریافتی نیز دقیق نخواهند بود. برای جلوگیری از این مشکل، باید از روشهای تمیزکاری مناسب استفاده کنید.