در فضای تولید، نمیتوانید بعد از شستشو منتظر بمانید. هر مقدار آب باقیمانده، میتواند باعث ورود ذرات مختلف شود؛ همچنین باعث کاهش خصوصیات رزیست فوتوگرافیک میشود. در نتیجه، حتی قبل از شروع فرآیند لیتوگرافی، میزان بازدهی کاهش خواهد یافت. چرخههای خشککردن طولانی، باعث کاهش سرعت تولید میشوند و همچنین باعث ایجاد نوساناتی میشوند که در واقع نیازی به آنها نیست. ما یک لامپ خشککننده سریع ساختهایم تا این زمان را کاهش داده و سطح ویفر را دستنخورده نگه داریم.
چه چیزهایی اهمیت دارد؟
ما از امواج مادون قرمز کوتاهموج و متوسطموج استفاده میکنیم؛ این امواج بر اساس جذب آب تنظیم شدهاند، بنابراین انرژی به سرعت و بدون تماس با سطح ویفر، به آن منتقل میشود. در کل منطقه فعال، یکنواختی دمایی در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود؛ این امر از آسیب دیدن لایههای رزیست فوتوگرافیک جلوگیری میکند. تکرارپذیری دما نیز در حد ±۰.۵ درجه سانتیگراد است؛ بنابراین پروفیلهای حرارتی مربوط به فرآیندهای خشککردن نیز یکنواخت باقی میمانند.
این دستگاه در اتاقهای پاکسازی از کلاس ۱ تا کلاس ۱۰۰ قابل استفاده است؛ ما تأیید کردهایم که این دستگاه هیچ ذرهای را در حد ۰.۱ میکرون یا کمتر تولید نمیکند. در شرایط عملیاتی، این لامپ ۲۴ ساعته کار میکند و هیچ توقف غیرمنتظرهای ندارد؛ استابیلیت خروجی نیز در طی بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار، در حد ۲٪ باقی میماند.
چرا این دستگاه در فضای تولید مفید است؟
بلافاصله بعد از شستشو، این لامپ آب روی سطح ویفر را در عرض چند ثانیه از بین میبرد؛ بنابراین میتوانید ویفر را مستقیماً به صفحه گرم بفرستید تا فرآیند خشککردن رزیست فوتوگرافیک انجام شود. این کار باعث کاهش زمان لازم برای انجام فرآیندهای مربوط به خشککردن میشود؛ همچنین با حذف مراحل حرارتی غیرضروری، میزان انرژی مصرفی نیز کاهش مییابد.
از آنجایی که شرایط حرارتی از یک پایه خشک و یکنواخت شروع میشود، فرآیندهای خشککردن نیز بهتر انجام میشوند؛ در نتیجه کنترل دقیقتری بر روی ویفر امکانپذیر میشود. این امر منجر به افزایش تعداد ویفرهای تولید شده در هر ساعت و کاهش مقدار ویفرهای باکیفیت پایین میشود.
واقعیتهای عملیاتی
این لامپ به منبع تغذیه ۲۴ ولت DC نیاز دارد؛ همچنین برای خنک کردن دستگاه، به سیستم تهویه مخصوصی نیاز است. برای پلتفرمهای مختلف، مجموعههای تنظیمی نیز در دسترس هستند. تطبیق این دستگاه با ویفر نیز بسیار دقیق است؛ در حد ±۰.۵ میلیمتر. بنابراین، بهتر است یک مهندس برای تنظیم اولیه دستگاه استخدام شود.
قبل از شروع عملیات، بهتر است ۳۰ دقیقه زمان صرف تست دستگاه کنید تا یکنواختی دمایی را بررسی کنید.