제조 실험실용 고온 가마

바닥면에서 포토레지스트 베이크 중 1°C 변동은 “라인폭 변화”가 아니다. 이는 다량의 불량을 의미한다. 첨단 노드에서는 0.1도 이하의 차이로 수율이 좌우되며, 노는 반드시 이를 엄격히 준수해야 한다. 기술적으로 중요한 점 우리는 ±0.1°C의 설정점 대비 웨이퍼...