램프가 파손되어 웨이퍼의 품질이 저하되는 것을 막으세요.
대량 생산 라인에서 램프가 파손되는 것은 큰 문제입니다. 단순히 기계가 잠시 작동을 중단하는 것뿐만 아니라, 혼란도 야기됩니다.
쿼츠관이 파손되면 유리 조각과 할로겐 가스가 웨이퍼 위로 떨어집니다. 한 번만 파손되어도 전체 생산물이 버려지게 됩니다. 그러면 전체 챔버를 청소해야 하는데, 이는 아무도 하고 싶어 하지 않는 일입니다. 우리는 이러한 상황을 방지하기 위해 특별히 디지털 컨트롤러와 램프 시스템을 설계했습니다.
온도를 안정적으로 유지하기
대부분의 램프는 열충격이나 과도한 열로 인해 파손됩니다. 만약 램프에 과전압이 가해지면 쿼츠가 너무 빠르게 팽창하여 균열이 생깁니다. 마치 뜨거운 물을 차가운 유리잔에 부어넣는 것과 같습니다.
우리는 디지털 컨트롤러를 사용하여 전력 공급을 부드럽게 조절함으로써 이 문제를 해결합니다. 이 방법은 훨씬 더 안전합니다.
또한, 저희는 고순도 쿼츠관을 사용합니다. 왜냐하면 이 관들은 저가형 관들보다 훨씬 더 많은 열을 견딜 수 있기 때문입니다. 하지만 고출력을 짧은 관을 통해 공급하면 밀폐 부분에 엄청난 압력이 가해집니다. 따라서 공기 흐름을 일정하게 유지해야 합니다. 관의 어느 부분이 다른 부분보다 빨리 식으면 스트레스가 생기고, 그곳에서 램프가 파손됩니다.
오염을 막기
만약 램프가 파손된다면, 운에 의존해서는 안 됩니다.
우리는 물리적인 보호 장치와 특수한 케이스를 사용하여 램프를 분리해 둡니다. 무언가가 파손되더라도 그 파편들이 웨이퍼 위로 떨어지지 않습니다.
또한 전기적인 측면도 고려해야 합니다. 우리는 아크 발생을 방지하기 위해 내구성이 뛰어난 커넥터를 사용합니다. 아크는 조용한 살인자입니다. 아크는 미세한 입자들을 만들어내고, 이 입자들이 생산 구역으로 들어갑니다.
이러한 연결 부분을 철저히 관리하고 정밀한 PID 제어를 사용함으로써 온도를 안정적으로 유지할 수 있습니다. 램프는 적절한 온도를 찾아 헤매지 않아도 되며, 그 결과 필라멘트가 손상되는 것을 막을 수 있습니다.