웨이퍼를 따뜻하게 유지하기: IR 트롤리 히터의 진실
현대적인 반도체 공장을 운영한다면, 웨이퍼가 이동하는 동안 그 온도를 안정적으로 유지하는 것이 매우 중요하다는 것을 잘 알고 있을 것입니다. 하지만 클린룸 내에서 이를 실현하는 것은 쉽지 않습니다.
그래서 우리는 적외선(IR) 시스템을 사용합니다. 적외선의 장점은 복사열을 이용한다는 점입니다. 공기를 빠르게 불어넣는 방식과 달리, 입자들이 발생하지 않아 환경을 오염시키지 않습니다. 그저 간단히 작동할 뿐입니다.
스마트한 제어 (문제 없이)
하드웨어의 성능은 그것을 제어하는 소프트웨어에 달려 있습니다. 우리는 기존의 PLC 시스템에 즉시 연결될 수 있는 IR 시스템을 만듭니다.
단파 적외선 발진기를 사용하기 때문에 반응 속도가 매우 빠릅니다. 거의 즉시 가열되고 냉각됩니다. 따라서 트롤리의 위치나 특정 웨이퍼의 특성에 따라 온도를 실시간으로 조절할 수 있습니다.
또한, 각 배치별로 얼마나 많은 에너지가 사용되는지도 확인할 수 있습니다. 이제 난방 비용은 단순한 비용이 아니라, 생산 과정을 더 효율적으로 만드는 데 활용될 수 있는 데이터가 됩니다.
열에 관한 세부 사항
클린룸의 트롤리 공간은 항상 좁습니다. 이 문제를 해결하기 위해 우리는 고밀도 석영 소재를 사용합니다.
복사열이기 때문에, 이러한 소재들을 부하 근처에 배치할 수 있습니다. 기존의 저항식 히터와 달리, 과열 문제를 걱정할 필요가 없습니다.
하지만 한 가지 주의해야 할 점이 있습니다. 전력 밀도를 잘 관리해야 합니다. 고출력 램프는 빠르게 작동하지만, 전력 소모가 많습니다. 고출력 설비를 사용할 경우, 배선과 커넥터가 충분한 전류를 처리할 수 있는지 반드시 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 전압이 떨어져 웨이퍼에 고른 열이 가해지지 않습니다. 이런 상황은 아무도 원하지 않습니다.
청결을 유지하기
공장에서는 오염이 가장 큰 적입니다. 그래서 우리는 모든 부품을 밀폐된 석영 케이스에 넣어두어, 입자들이 작업 공간으로 퍼지는 것을 방지합니다.
또한, 하드웨어가 쉽게 청소될 수 있도록 설계했으며, 멸균에 사용되는 강한 화학물질에도 견딜 수 있도록 했습니다. 이렇게 함으로써 웨이퍼를 따뜻하게 유지하는 과정에서 생산성이 저하되는 것을 방지할 수 있습니다.