
دیگر اجازه ندهید گرما در فرهای تولید ویفرهای سیلیکونی هدر برود!
در اتاقهای پاک، هدر رفتن انرژی فقط مربوط به صرف هزینه برق نیست؛ بلکه مشکلات زیادی را نیز به همراه دارد.
وقتی که ویفرهای سیلیکونی را گرم میکنیم، هر گرمایی که به هدف خود نرسد، از بین میرود. اما این گرما کاملاً ناپدید نمیشود؛ بلکه در اطراف پرتاب میشود و باعث تحریف ساختار فر میشود یا باعث فعال شدن سیستمهای خنککننده میگردد که منجر به توقف کل خط تولید میشود.
ما این مشکل را با استفاده از لایههای طلا با بازتاب بالا در ساختار فرهای مایکروویو حل کردیم.
چرا طلا؟
اکثر مردم از رزوناتورهای آلومینیومی استفاده میکنند، اما آلومینیوم مقدار قابل توجهی از انرژی مادون قرمز را جذب میکند؛ بنابراین کارایی آن پایین است.
اما طلا متفاوت است؛ طلا نور مادون قرمز را مانند یک آینه منعکس میکند. در نتیجه، فوتونها به جای پراکنده شدن، مستقیماً به روی ویفرها برخورد میکنند.
به این ترتیب، گرمای بیشتری در هر وات تولید میشود؛ یعنی میتوانید دمای مورد نظر را بدون نیاز به افزایش ولتاژ یا استفاده از لامپهای قویتر، دستیابی کنید. این روش هوشمندانهتر است.
معایب و نحوه مقابله با آنها
البته، چند معایبی نیز وجود دارد.
استفاده از طلا باعث میشود فر کوچکتر باشد، اما این سطوح بسیار حساس هستند. اگر گرد و غبار یا مواد شیمیایی روی لایه طلا تجمع کند، بازتاب نور کاهش مییابد.
هرگز از مواد شیمیایی برای تمیز کردن این سطوح استفاده نکنید؛» زیرا این کار باعث از بین رفتن لایه طلا میشود.
همچنین، تنظیم درست ابعاد لامپ بسیار مهم است؛ اگر لامپ حتی چند میلیمتر از جای خود منحرف شود، اثر تمرکز نور از بین میرود. مطمئن شوید که قطعات متصل کننده لامپ کاملاً محکم هستند.
فواید این روش برای فرآیند تولید
وقتی که انرژی به درستی تمرکز شود، ویفرها سریعتر به دمای مورد نظر میرسند. فرآیند تولید نیز سریعتر انجام میشود. علاوه بر این، از آنجایی که گرمای کمتری وارد فر میشود، فنهای خنککننده نیازی به کار کردن با توان بالا ندارند. در نتیجه، همه چیز سردتر، سریعتر و بیصداتر انجام میشود.