دیگر اجازه ندهید گرمای تولید شده در دستگاههای مربوط به حرارتدهی به ویفرهای سیلیکونی هدر برود. اگر تا به حال از این دستگاهها برای گرم کردن ویفرهای سیلیکونی استفاده کردهاید، میدانید که این کار چقدر دشوار است. لامپهای کوارتزی معمولی، گرما را در تمام جهات پخش میکنند؛ در نتیجه، نیمی از انرژی صرف گرم کردن بدنه یا دیوارههای دستگاه میشود، نه ویفرها. این کار باعث هدررفت انرژی و مشکلات زیادی برای دستگاه میشود.
ما این مشکل را با استفاده از بازتابندههای پوشیده شده با طلا برطرف کردیم. به جای اینکه گرما در همه جا پخش شود، آن را دوباره به سمت ویفرها هدایت میکنیم.
چرا طلا؟ ساده است؛ طلا در بازتاب نور مادون قرمز عالی عمل میکند. با اضافه کردن یک لایه نازک و با خلوص بالا روی سطح بازتابنده، میتوانیم انرژی بیشتری را به سمت ویفرها هدایت کنیم. این کار باعث میشود ویفرها سریعتر به دمای مطلوب برسند. شما نه تنها انرژی را صرفهجویی میکنید، بلکه زمان نیز صرفهجویی میشود.
حفظ سرما در جاهای مناسب دستگاههای مربوط به حرارتدهی فضای کمی دارند. اگر انرژی زیادی به لامپها وارد شود تا از اتلاف گرما جلوگیری شود، باعث میشود سایر بخشهای دستگاه نیز بیش از حد گرم شوند.
از آنجایی که پوشش طلا باعث تمرکز انرژی میشود، نیازی نیست از منابع انرژی بیش از حد استفاده کنید. این کار باعث میشود گرما فقط در جای مناسب، یعنی روی ویفرها، تأثیر بگذارد و سایر بخشهای دستگاه تحت تأثیر قرار نگیرند.
نکاتی که باید در نظر گرفت البته این روش جادویی نیست؛ چند مشکل نیز وجود دارد. از آنجایی که گرما بسیار متمرکز است، «نقطه ایدهآل» برای گرم کردن ویفرها کوچکتر است. اگر ویفرها دقیقاً در این نقطه قرار نداشته باشند، گرمایش نامتوازن خواهد بود. بنابراین باید در تنظیم ارتفاع ویفرها بسیار دقیق عمل کنید.
همچنین، طلا کمی حساس است؛ اگر فرآیند شما از گازهای خورنده استفاده کند، این گازها میتوانند پوشش طلا را از بین ببرند. در چنین شرایطی، کافی است بازتابندهها را محافظت کنید تا مشکلی پیش نیاید.
نحوه استفاده ما این بازتابندهها را به گونهای طراحی کردهایم که به راحتی میتوانند جایگزین بازتابندههای فعلی شوند. از کانکتورهای مقاوم برای اتصال آنها استفاده کردهایم تا نگران سوختن ترمینالها در شرایط جریان بالا نباشید.
با اتصال آنها به کنترلر PID، متوجه تفاوت خواهید شد؛ زمان لازم برای رسیدن به دمای مطلوب، بسیار کمتر خواهد شد.