جلوگیری از خرابی لامپها و از بین رفتن محصولات تولید شده
در خطوط تولید با حجم بالا، خرابی لامپ یک فاجعه است. مسئله فقط این نیست که دستگاه برای مدتی از کار بیفتد؛ مشکل اصلی، آشفتگی ناشی از خرابی لامپ است.
وقتی لوله کوارتزی خراب میشود، تکههای شیشه و گاز هالوژن روی ویفرها میریزند؛ در نتیجه، کل محموله محصولات بیارزش میشود. سپس باید کل محفظه را تمیز کرد؛ کاری که هیچکس دوست ندارد انجام دهد. ما کنترلرهای دیجیتال و سیستمهای لامپها را به گونهای طراحی کردهایم که چنین اتفاقی رخ ندهد.
حفظ سرمایش و سلامت لامپها
بیشتر لامپها به دلیل شوک حرارتی یا نقاط گرم بیش از حد خراب میشوند. اگر ولتاژ زیادی به لامپ وارد شود، کوارتز خیلی سریع گسترش مییابد و ترک میخورد. این موضوع مانند ریختن آب جوش در یک لیوان سرد است.
ما از کنترلرهای دیجیتال برای کنترل مناسب ولتاژ در طول فرآیند راهاندازی و خاموش کردن لامپ استفاده میکنیم؛ این روش، روشی ملایمتر برای کنترل لامپها است.
همچنین از لولههای کوارتزی با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ زیرا آنها میتوانند فشار حرارتی بیشتری را تحمل کنند. اما اگر ولتاژ زیادی از طریق لولههای کوتاه وارد شود، فشار زیادی بر روی درزهای لوله وارد میشود؛ بنابراین باید جریان هوا یکنواخت باشد. اگر بخشی از لوله سریعتر از بخشهای دیگر خنک شود، نقطه استرسی ایجاد میشود؛ و اینجاست که لامپ خراب میشود.
جلوگیری از آلودگی
اگر لوله خراب شود – چون حوادث ممکن است رخ دهد – نمیخواهیم به شانس وابسته باشیم.
ما از محافظهای فیزیکی و محفظههای ویژه برای جداسازی لامپ استفاده میکنیم؛ در صورت خرابی لامپ، آشغالات در جای خود میمانند و روی ویفرها نمیافتند.
همچنین از کانکتورهای مقاوم برای جلوگیری از ایجاد جرقه استفاده میکنیم؛ جرقهزدن میتواند باعث ایجاد ذرات ریزی شود که وارد منطقه تولید میشوند.
با تنظیم دقیق اتصالات و استفاده از چرخه PID، دما در حالت پایدار باقی میماند؛ لامپ نیازی به جستجوی دمای مناسب ندارد؛ این کار باعث میشود رشته الکتریکی لامپ سالم بماند و خرابی لامپ از همان ابتدا جلوگیری شود.