클래스 100 청정실을 계속 깨끗하게 유지하는 방법
만약 여러분이 클래스 100 청정실을 운영하고 있다면, 그 고통스러운 상황을 잘 알고 있을 것입니다. 아주 작은 먼지 한 점이나 이물질 하나만 있어도 반도체 웨이퍼는 망가져버립니다. 정말 짜증나는 일입니다. 대부분의 가열 요소들은 안정적으로 작동해야 하는 순간에 오히려 가스를 방출하거나 이물질을 낸다는 단점이 있습니다.
우리는 더 나은 방법을 찾아냈습니다. 고순도 석영 인파란등을 사용하고, 테플론으로 절연된 전선을 함께 사용합니다. 간단하지만 효과적입니다.
고순도 석영의 장점
우리는 등의 외부 코팅으로 합성 융합 실리카를 사용했습니다. 왜일까요? 고온에서도 변질되지 않기 때문입니다. 일반 유리는 가열되거나 냉각될 때 미세한 입자들을 방출하는 반면, 석영은 그러지 않습니다. 그래서 적외선이 그대로 기판에 도달할 수 있으며, 석영 자체는 과도하게 열화되지 않습니다. 이물질도 발생하지 않습니다. 오직 깨끗한 열만 전달됩니다.
전선도 잊지 마세요
등만으로는 충분하지 않습니다. 대부분의 사람들은 전선을 간과하지만, 바로 그 부분에서 청정실의 문제가 생깁니다. 반도체 장비에 일반 PVC 전선을 사용하면, 열로 인해 절연층이 손상됩니다. 그 결과 휘발성 유기 화합물(VOCs)이 진공 상태나 공기 중으로 방출됩니다. 이는 결국 오염의 원인이 됩니다.
그래서 우리는 PTFE(테플론)로 코팅된 전선을 사용합니다. 이 전선은 화학적으로 안정적이며, 열이 가해져도 손상되거나 가스가 새어 나오지 않습니다.
공학적 현실
이러한 고강도 등들은 열을 빠르게 발생시켜주는 장점이 있습니다. 이는 웨이퍼 처리에 필수적인 요소입니다. 하지만 이러한 강력한 성능에는 단점도 있습니다. 설치 방식을 신중하게 고려해야 합니다. 부착용 브라켓은 이물질을 방출하지 않아야 하며, 냉각 공기의 흐름도 정확해야 합니다. 공기 흐름이 충분하지 않으면, 테플론조차도 한계에 도달합니다. 6개월 후에 절연층이 손상되어 문제가 생기는 것을 원하지 않을 것입니다.
우리는 이러한 장비들을 기존 장비들과 쉽게 교체할 수 있도록 설계했습니다. 전선을 연결하고 PID 컨트롤러를 조정하기만 하면 됩니다. 석영 등이 모든 작업을 처리해줍니다. 그러면 생산 라인이 깨끗하게 유지되고, 이물질로 인한 걱정도 없어집니다.