금 코팅 처리가 된 적외선 램프: 위기 상황에서도 웨이퍼를 깨끗하게 유지해줍니다.
바쁜 반도체 제조 공장에서는 웨이퍼가 모든 것입니다. 단 하나의 결함 있는 램프라도 생산 과정을 망칠 수 있습니다. 일반적인 적외선 램프는 과부하로 인해 파손될 수 있으며, 그렇게 되면 생산이 중단될 뿐만 아니라 값비싼 웨이퍼에 석영 가루가 묻게 됩니다. 저희는 이러한 문제를 해결하기 위해 금 코팅 처리가 된 적외선 램프를 개발했습니다.
성능과 사양: 지속적인 작동을 위해 설계됨
이 램프들은 연속적으로 작동할 수 있도록 설계되었습니다. 중요한 것은 단순히 와트수가 아니라, 집중된 열량입니다.
*고전압, 고밀도 출력: 400V와 2500W의 성능을 자랑합니다. 이 정도의 열량이라면 빠른 열처리가 가능합니다. 하지만 그만큼 열도 많이 발생합니다. 따라서 램프 주변의 온도를 효과적으로 조절할 수 있는 냉각 시스템이 필요합니다.
*소형 크기, 강력한 성능: 길이는 300mm, 너비는 10mm에 불과하여 좁은 공간에도 잘 들어맞으며, 목표물 주변의 열 분포를 방해하지 않습니다.
안전성: 설계에 내재된 안전 기능
파손 방지 기능은 우연이 아니라, 재료 자체에 내재된 기능입니다.
**실용적인 금 코팅: 금 코팅은 단순히 외관을 위한 것이 아닙니다. 적외선 에너지를 필라멘트로 다시 반사시켜 효율을 높이고, 외부 석영 표면의 온도를 낮춥니다. 그 결과, 온도 변화 시 램프에 가해지는 스트레스가 줄어듭니다.
**고순도 석영과 할로겐 필라멘트: 고순도 석영과 할로겐 필라멘트 덕분에 필라멘트가 안정적으로 작동합니다. 과열이나 갑작스러운 손상이 없습니다.
**R7s 커넥터: 이 커넥터는 간단하고 신뢰성이 높으며, 높은 전류를 안정적으로 처리할 수 있습니다. 연결 부위에서 과열이 발생하지 않습니다. 유지보수가 필요할 때도 간단하게 교체할 수 있습니다.
웨이퍼에 주는 이점
생산 과정에서는 깨끗하고 일관된 열을 필요로 합니다. 저희의 금 코팅 처리가 된 적외선 램프는 파손 위험 없이 그러한 열을 제공합니다. 필라멘트가 손상되더라도 석영 튜브는 그대로 유지되므로 웨이퍼에 이물질이 묻는 일이 없습니다.
그 결과, 공장의 가동 중단 시간이 줄어들고, 손상된 웨이퍼도 줄어듭니다. 이는 기존 램프와 비교해 훨씬 우수한 성능을 제공합니다. 24/7 연속 작동에도 견딜 수 있도록 설계되어, 매일매일 웨이퍼를 깨끗하게 유지해줍니다.