웨이퍼 가공 공구용 온도 센서

웨이퍼의 온도를 추측하는 것은 그만두세요. 스마트 팹을 구축한다면, 더 이상 기존의 접촉형 온도 센서를 사용해서는 안 됩니다. 그런 센서들은 더 이상 쓸모가 없습니다. 웨이퍼를 측정할 때는 고속 적외선 센서를 사용해야 합니다. 이를 통해 기판에 닿지 않고도 실시간으로...