매트슨 RTP 램프 교체
생산 라인에서는 열 드리프트가 경고등으로 표시되지 않습니다. 대신 수율 저하나 CD 제어의 불안정성으로 나타납니다. Mattson RTP 램프는 건조 및 포토레지스트 가열 과정이 적절한 온도 범위 내에서 이루어지도록 설계되었습니다.
중요한 요소들 우리는 석영관을 사용...
RTP 시스템용 할로겐 램프
실제 작업 환경에서는 열 드리프트가 단순한 실험실용 기술이 아니라 매우 중요한 문제입니다. RTP를 사용할 때, 그 할로겐 램프는 일관된 열을 빠르게 공급해야 하며, 공정에 이물질을 유입시키거나 변수를 발생시켜서는 안 됩니다.
중요한 것은 바로 이 부분입니다. 우리는...