IC용 단파 적외선 램프

팹 내에서는 12인치 크기의 웨이퍼가 있으며, 이 웨이퍼는 포토레지스트를 가열하는 과정을 기다리고 있습니다. 여기서 중요한 것은 표면 온도의 변동입니다. 단 1°C의 온도 변화만 있어도 선의 굵기 제어와 생산성에 문제가 생길 수 있습니다. 따라서 필요한 것은 빠르게...