Pare de adivinhar as temperaturas dos wafers
Se você está construindo uma fábrica inteligente, precisa abandonar os antigos termopares de contato. Eles simplesmente não são mais eficazes. Para medir as temperaturas dos wafers, utilizamos sensores infravermelhos de alta velocidade. Isso permite que obtenhamos mapas térmicos em tempo real, sem precisar tocar no substrato.
Se você quer que o “gêmeo digital” reflita exatamente o que acontece no mundo real, precisa de um fluxo contínuo de dados de alta frequência. A medição sem contato é a única maneira de obter esses dados.
Os detalhes relacionados aos sensores infravermelhos
Tudo se resume à Lei de Planck – basicamente, ela transforma a radiação infravermelha em valores de temperatura. Mas há um problema: é preciso configurar corretamente os parâmetros de emissividade para silício ou GaAs. Se esses parâmetros estiverem errados, os dados obtidos serão inúteis.
Para manter as medições precisas, utilizamos pirometria de banda estreita. Isso filtra o ruído proveniente dos elementos de aquecimento, permitindo que o sensor fique focado no wafer, e não na parede do forno.
Tornando os dados realmente úteis
Esses sensores não são apenas instrumentos decorativos. Eles foram projetados para enviar sinais digitais direto para o seu sistema PLC ou SCADA.
Aqui está o melhor: você consegue ter controle PID em circuito fechado. Se surgir algum ponto quente, é possível ajustar a potência em milissegundos. É muito rápido.
Atenção: tanta informação pode sobrecarregar uma rede fraca. Certifique-se de ter um barramento de campo de alta largura de banda, caso contrário, haverá atrasos nas medições.
Os compromissos (pois nada é perfeito)
Os benefícios são enormes: não há mais risco de contaminação dos sensores, nem de quebra acidental dos wafers. Sua produtividade certamente será beneficiada.
Mas há alguns pontos que merecem atenção. Os sensores infravermelhos precisam de uma linha de visão livre. Se sua ferramenta tiver formato estranho ou revestimentos internos, haverá pontos cegos. É preciso pensar bem onde posicionar os sensores durante a fase de design.
Além disso, existe o problema do vidro. Se a janela de visualização ficar turva por causa dos subprodutos do processo, as medições começarão a divergir. Será necessário implementar ciclos de limpeza ou usar gases para manter a transparência ótica.