Het behouden van de warmte van de wafers: de waarheid over IR-verwarmeroplossingen
Als je een moderne halfgeleiderfabriek runt, ken je dit probleem vast al. Het is cruciaal om de wafers thermisch stabiel te houden terwijl ze zich in beweging bevinden. Maar dit doen in een schone ruimte kan best lastig zijn.
Daarom maken we gebruik van infrarood (IR)-systemen voor de verwarming van de wagens. Het voordeel van IR-technologie is dat het gaat om stralingswarmte. Er wordt geen hete lucht gegenereerd – wat natuurlijk kan leiden tot het verspreiden van deeltjes en schade aan de omgeving. IR-technologie werkt gewoon beter.
Slimme controle (zonder problemen)
De prestaties van de apparatuur hangen af van het systeem dat hem bedient. We ontwikkelen deze IR-systemen zodat ze gemakkelijk kunnen worden geïntegreerd in de bestaande PLC-systemen.
Omdat we kortgolf-IR-emitters gebruiken, is de reactietijd enorm snel. De apparaten kunnen zich bijna onmiddellijk opwarmen en afkoelen. Hierdoor kun je de temperatuur op het juiste moment aanpassen, afhankelijk van waar de wagen zich bevindt of wat er nodig is voor die specifieke batch wafers.
Bovendien kun je gemakkelijk bijhouden hoeveel energie er per batch wordt verbruikt. Hierdoor wordt de kostenpost voor verwarming niet alleen een kostenpost, maar ook een nuttige gegevensbron om de productie te verbeteren.
Alle details over de warmtestromen
In een schone ruimte is er nauwelijks ruimte. Om dit op te lossen gebruiken we kwartscomponenten met hoge dichtheid. Omdat het om stralingswarmte gaat, kunnen deze componenten dichter bij de wafers worden geplaatst. Je hoeft je geen zorgen te maken over het ‘verbrandende’ effect dat optreedt bij traditionele resistieverwarmers.
Eén tip: houd rekening met de stroomsterkte. Lampen met hoge vermogens werken snel, maar ze vereisen ook veel stroom. Als je een systeem met hoge output gebruikt, moet je ervoor zorgen dat de kabels en connectors wel voldoende stroom kunnen leveren. Anders zal er een stroomdaling optreden, waardoor de warmteverspreiding oneffen wordt. Dat wil niemand.
Het behouden van de zuiverheid
In een fabriek is contaminatie een groot probleem. We bewaren alle componenten in afgesloten kwartsomhulsels, zodat er geen deeltjes in de werkruimte terechtkomen. Ook zorgen we ervoor dat de apparatuur gemakkelijk schoongemaakt kan worden en bestand is tegen de steriele chemicaliën die worden gebruikt. Het is een eenvoudige oplossing, maar het zorgt er wel voor dat het behouden van de warmte van de wafers geen nadelig effect heeft op de productie.