Stop met het verspillen van warmte in je waferovens
In een schone ruimte gaat het bij energieverlies niet alleen om de elektriciteitsrekening. Het is ook een groot probleem.
Wanneer je siliciumwafers verwarmt, gaat alle warmte die het doel niet bereikt, gewoon verloren. Maar deze warmte verdwijnt niet zomaar. Ze kaatst rond en kan het frame van de oven beschadigen of de alarmsystemen voor koeling activeren, waardoor de hele productielijn stil komt te liggen.
We hebben dit opgelost door hoge-reflecterende gouden coatings te gebruiken in de infraroodverwarmers.
Waarom goud?
De meeste mensen gebruiken aluminiumreflectoren, maar hier is het verschil: aluminium neemt een groot deel van de infraroodenergie op. Dat is niet efficiënt.
Goud daarentegen weerkaatst infraroodlicht als een spiegel. In plaats van dat de fotonen overal heen worden gestuurd, worden ze rechtstreeks op de wafers gericht.
Hierdoor krijg je veel meer warmte per watt. Dat betekent dat je de gewenste temperatuur kunt bereiken zonder de spanning te verhogen of grotere lampen te gebruiken. Het is gewoon slimmer.
De nadelen (en hoe je ze oplost)
Er zijn wel wat nadelen. Het gebruik van goud zorgt er namelijk voor dat de verwarmer kleiner kan blijven, terwijl de warmtedichtheid hoog blijft. Maar deze oppervlakken zijn gevoelig. Als er stof of chemicaliën op deze gouden laag terechtkomen, neemt de reflectie af.
Vergeet vooral niet om ze niet met agressieve chemicaliën schoon te maken. Dan zal de coating worden afgebroken.
Ook is precisie belangrijk. Als de lamp zelfs maar een paar millimeter scheef staat, verdwijnt het focuseffect. Zorg ervoor dat de bevestigingspunten stevig zijn. Er mag geen ruimte voor beweging zijn.
Wat dit voor jou betekent
Doordat de energie goed wordt gefocust, bereiken de wafers hun gewenste temperatuur sneller. Simpel toch?
Je productiecyclus wordt korter. Bovendien hoeven de koelfans minder hard te werken, omdat er minder warmte in de oven terechtkomt. Alles werkt dus koeler, sneller en stiller.