Stop met het verspillen van warmte in je waferovens In een schone ruimte gaat het bij energieverlies niet alleen om de elektriciteitsrekening. Het is...

Op de lithografieafdeling is het verhitten van de fotorezistent geen optioneel proces – het is juist cruciaal voor de kwaliteit van het eindproduct....

Op de vloer is een temperatuurschommeling van 1°C tijdens het bakken van photoresist geen “lijnbreedteverschuiving.” Het betekent veel uitval....