웨이퍼 가열을 위한 안전 거리
고온 환경에서 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법
대량 생산 환경에서는 단 한 번의 고장만으로도 하루의 작업이 망쳐질 수 있습니다. 적외선 램프가 고장나면, 열을 가하는 기능은 멈출 뿐만 아니라, 석영 조각과 할로겐 가스가 웨이퍼 위로 튀어나옵니다. 이는 몇 초 만에 전...
웨이퍼 경화 램프용 반사판
완벽한 웨이퍼 경화를 위해서는 반사기가 핵심입니다.
웨이퍼 경화 작업을 하신다면 그 어려움을 잘 알고 계실 것입니다. 적절한 열 분포를 유지해야 하죠. 이를 위해 단파 적외선 램프와 특수한 반사기를 함께 사용합니다.
현대적인 반도체 공장에서는 데이터 기반의 열 제어가...
웨이퍼 가공 공구용 온도 센서
웨이퍼의 온도를 추측하는 것은 그만두세요. 스마트 팹을 구축한다면, 더 이상 기존의 접촉형 온도 센서를 사용해서는 안 됩니다. 그런 센서들은 더 이상 쓸모가 없습니다. 웨이퍼를 측정할 때는 고속 적외선 센서를 사용해야 합니다. 이를 통해 기판에 닿지 않고도 실시간으로...
에너지 효율적인 웨이퍼 히터
왜 무연 칩 제조에 적외선 경화 방식을 사용하는가?
반도체를 제조하는 방식이 변하고 있습니다. 우리는 이제 오래된 용매 기반의 건조 방식과 납이 포함된 재료들을 사용하지 않고 있습니다. 이는 곧 적외선을 활용한 경화 방식을 채택한다는 것을 의미합니다.
가장 큰 차이점...
웨이퍼용 고정밀 IR 센서
IR 램프가 고장 나면 모든 것이 엉망이 됩니다.
반도체 제조 공장에서 IR 램프가 고장 나는 것은 단순한 ‘기술적 오류’나 잠시간의 가동 중단에 그치지 않습니다. 그건 진짜 악몽입니다.
고부하 상태에서 석영 커버가 파손된다고 상상해 보세요. 유리 조각들과 할로겐 가...
MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터
무연 반표준 부품에 적외선 경화 방식을 사용하는 이유
MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 매우 까다로운 문제가 있습니다. 모든 수분과 용매를 제거해야 하지만, 단 한 방울의 잔여물도 남겨둘 수 없습니다. 또한, 웨이퍼에 과도한 열을 가하면 전체 구조가 망가질 수 있습...
저렴한 웨이퍼 건조용 램프 전구
웨이퍼 건조용 적외선 램프: 뛰어난 성능과 합리적인 가격
우리는 기존에 사용하던 고가의 수입 제품을 대체할 수 있는, 성능이 우수한 웨이퍼 건조용 적외선 램프를 만들었습니다. 유명 브랜드 제품과 같은 성능을 갖추고 있으면서도, 그에 비해 훨씬 저렴한 가격입니다. 이...
레이저 웨이퍼 다이싱용 서포트 히터
생산 라인에서는 레이저가 작동할 때 결함이 발생하는 경우는 거의 없습니다. 결함은 그보다 더 일찍 발생합니다. 즉, 기판의 온도가 너무 낮거나, 평탄하지 않거나, 포토레지스트의 열적 특성 범위를 벗어날 때입니다. 이러한 문제로 인해 미세한 균열이 생기거나, 가장자리가...