글러브박스 내의 열 낭비를 막으세요 만약 글러브박스 안에서 실리콘 웨이퍼를 가열해본 적이 있다면, 그 어려움을 잘 알 것입니다. 일반적인 석영 램프는 열을 사방으로 방출합니다. 그 결과 에너지의 절반이 낭비되어, 웨이퍼가 아닌 글러브박스의 벽이나 내부 구조물들이 따뜻...

왜 적외선 히터들이 계속 고장 나는가? 그리고 이를 어떻게 해결할 수 있을까? 히터의 부품을 교체할 때 알아야 할 작은 비밀이 있습니다. 사실 대부분의 경우, 히터의 필라멘트 자체는 문제가 없습니다. 진짜 문제는 전선이 석영이나 세라믹 튜브 안으로 들어가는 부분입니다...

열적 제한은 단순한 권고사항이 아니라, 반드시 준수해야 할 한계입니다. 산화 과정에서 온도가 0.5도만 벗어나거나, 오븐의 특정 부분이 너무 뜨겁고 다른 부분은 너무 차가운 경우, 이는 웨이퍼의 두께 변화나 선의 폭 변동, 그리고 생산율 저하로 금방 나타납니다. 이러...