Verhindern Sie, dass defekte Lampen die Qualität Ihrer Wafer beeinträchtigen
In einer Hochleistungsproduktionslinie ist der Ausfall einer Lampe ein Albtraum. Es geht nicht nur darum, dass die Maschine vorübergehend ausfällt – es entsteht außerdem Chaos. Wenn eine Quarzröhre kaputtgeht, fallen Glasstücke sowie Halogengas auf die Wafer. Mit einem einzigen Ausfall ist die ganze Charge nutzlos. Dann muss man den gesamten Raum reinigen – das ist eine Aufgabe, die niemand machen möchte. Wir entwickeln unsere digitalen Steuerungen sowie Lampenanordnungen speziell dazu, damit so etwas nicht passiert.
Kontrolle der Temperatur – und thus Schutz der Wafer
Die meisten Lampen versagen aufgrund von thermischen Schocks oder an bestimmten Stellen besonders hoher Temperaturen. Wenn man eine Lampe mit voller Spannung betreibt, dehnt sich der Quarz zu schnell aus und bricht. Das ist im Grunde genommen wie das Einschenken von kochendem Wasser in ein kaltes Glas.
Wir lösen dieses Problem mit einem digitalen Controller, der die Stromstärke während des An- und Abschaltvorgangs glätten hilft. So wird die Belastung auf die Lampe verringert. Zudem verwenden wir Quarzröhren hoher Reinheit – sie können viel mehr Hitze aushalten als billige Röhren. Doch Achtung: Wenn man hohe Leistungen durch eine kurze Röhre leitet, entsteht großes Druckaufkommen an den Dichtungen. Der Luftstrom muss konstant bleiben. Wenn ein Teil der Röhre schneller abkühlt als der Rest, entsteht ein Spannungspunkt – und genau dort bricht die Röhre meistens.
Vermeidung von Kontaminationen
Falls eine Röhre doch versagt – und das kann durch Unfälle passieren – möchte man nicht auf Glück vertrauen. Wir verwenden physische Abschirmungen sowie spezielle Gehäuse, um die Lampe zu isolieren. Falls etwas kaputtgeht, bleibt das Schrottstück dort, wo es ist – es gelangt nicht auf die Wafer.
Außerdem kümmern wir uns auch um die elektrischen Aspekte. Wir verwenden hochwertige Steckverbinder, um Funkenbildung zu verhindern. Funkenbildung ist ein „stiller Killer“ – sie erzeugt winzige Partikel, die direkt in die Produktionszone gelangen können. Durch sichere Verbindungen sowie einen präzisen PID-Zyklus bleibt die Temperatur konstant. Die Lampe muss nicht nach dem richtigen Temperaturniveau suchen – dadurch bleibt der Filament in Ordnung und ein Ausfall wird bereits im Vorfeld verhindert.