Hören Sie auf, Energie in der Glovebox zu verschwenden
Wenn Sie schon einmal Siliziumwafer in einer Glovebox erhitzt haben, kennen Sie das Problem. Herkömmliche Quarzlampen streuen die Wärme in alle Richtungen ab. Die Hälfte der Energie geht dabei verloren – sie wird stattdessen genutzt, um den Behälter oder die Wände der Glovebox zu erwärmen, anstatt die Wafer selbst. Das ist eine Verschwendung von Energie und stellt außerdem ein Problem für Ihre Ausstattung dar.
Wir haben dieses Problem gelöst, indem wir reflektierende Elemente mit Goldbeschichtung hinzugefügt haben. Anstatt dass die Wärme in alle Richtungen abgeleitet wird, wird sie direkt auf die Wafer zurückgeworfen.
Warum Gold?
Ganz einfach: Gold ist hervorragend darin, Infrarotlicht zu reflektieren. Durch die Hinzufügung einer dünnen, hochreinen Schicht auf der Rückseite des Reflektors können wir viel mehr Energie auf die Wafer richten. Dadurch erreichen die Wafer die gewünschte Temperatur schneller. Sie sparen nicht nur Energie, sondern auch Zeit.
Kühlhalten – genau dort, wo es wichtig ist
Gloveboxes sind eng. Wenn man zu viel Energie in die Lampe leitet, um den Energieverlust auszugleichen, wird die restliche Kammer ebenfalls zu heiß. Da die Goldbeschichtung die Energie perfekt bündelt, muss man keine übermäßig leistungsstarke Stromversorgung verwenden. So bleibt die Wärme genau dort, wo sie hingehört – auf den Wafern – und lässt die übrige Ausrüstung unberührt.
Ein paar Dinge, die man berücksichtigen sollte
Es handelt sich dabei zwar nicht um Magie, aber es gibt einige Einschränkungen. Da die Wärme so gut gebündelt wird, ist der „ideale Punkt“ für die Erhitzung der Wafer kleiner. Wenn die Wafer nicht genau im Fokuspunkt liegen, kommt es zu uneinheitlicher Erwärmung. Man sollte daher sehr genau auf die Höhe des Z-Achsenwertes achten.
Außerdem ist Gold etwas empfindlich. Wenn in Ihrem Prozess korrosive Gase verwendet werden, können diese die Beschichtung angreifen und dazu führen, dass sie beschädigt wird. Falls das der Fall ist, schützen Sie einfach die Reflektoren – dann funktioniert alles einwandfrei.
In Betrieb nehmen
Wir haben diese Elemente so konzipiert, dass sie als einfache Ersatzteile für Ihre aktuellen IR-Lampen dienen können. Wir haben robuste Verbindungen verwendet, sodass Sie sich keine Sorgen um den Verschleiß der Kontakte unter hohem Stromstrom machen müssen. Verbinden Sie die Lampen mit einem PID-Controller für die Temperaturregelung – dann werden Sie sofort den Unterschied bemerken. Die Zeit bis zur Erreichung der gewünschten Temperatur verkürzt sich erheblich.