高温炉 用于制造实验室

在工厂车间，光刻胶烘烤过程中1°C的温度波动绝不是“线宽偏移”，而是大量废品。先进工艺节点的成败取决于温度的微小分度，炉体必须严格满足这一要求，毫无例外。 技术关键点 我们设计的高温炉实现了±0.1°C的设定点到晶圆温度均匀性，并且在整个烘烤曲线中保持稳定——从软烘烤到硬烘烤。热区无石英材质，低挥...