在制造车间里，温度漂移不会以警示灯的形式表现出来。它表现为成品率的下降，以及光刻胶厚度控制的异常。Mattson品牌的RTP灯经过特殊设计，能够确保晶圆在烘干和光刻胶固化过程中的温度始终处于理想范围内。 关键在于内部结构 我们使用的是带有石英外壳的短波红外卤素灯，这种灯具有快速升温且温度稳定的特点...

在实际应用中，热漂移并非什么实验室里才会出现的问题——它其实会严重影响生产流程的稳定性。在运行RTP工艺时，卤素灯必须能够持续提供稳定的热量，同时不能产生任何颗粒物，也不能给工艺带来额外的不确定性。 真正重要的因素是什么？ 我们设计的灯泡具有高纯度的卤素灯丝，这些灯丝被包裹在石英外壳中，从而能够快...