
停止让热量在手套箱内白白浪费
如果您曾经在手套箱内对硅片进行加热处理,那您一定知道其中的麻烦。普通的石英灯会将热量向各个方向散发,其中一半的能量被浪费掉了,用来加热手套箱的壳体或墙壁,而非硅片本身。这不仅浪费了能源,还会给您的实验流程带来困扰。
我们通过添加镀金反射器来解决这个问题。这样,热量就不会四处散失,而是被重新引导到硅片上。
为什么要用黄金?
很简单——黄金具有极强的红外光反射能力。通过在反射器背面添加一层薄而高纯度的黄金涂层,我们可以将更多的能量集中在目标物体上。这样一来,硅片就能更快达到所需温度。您不仅能节省电能,还能节省时间。
保持关键部位的冷却
手套箱空间有限。如果为了弥补热量损失而使用过高的功率,那么整个腔室的温度就会过高。由于镀金涂层能够有效集中能量,因此您无需使用过高的功率。这样一来,热量就能准确地作用于硅片上,而不会影响到其他设备。
需要注意的一些事项
当然,这并非万灵药,还是有一些需要注意的地方。由于热量高度集中,所以有效加热区域比较小。如果硅片没有精确地位于焦点上,那么加热效果就会不均匀。因此,您需要非常精确地控制Z轴的高度。
另外,黄金也对环境有一定要求。如果您的工艺过程中使用了腐蚀性气体,这些化学物质可能会侵蚀镀金涂层,导致其出现凹陷或剥落的情况。在这种情况下,只需为反射器加上保护层即可。
如何使用
我们设计的这些产品可以直接替代现有的红外加热装置。我们使用了耐用的连接器,因此您不必担心端子在高电流下会烧毁。将其连接到PID控制器上,您很快就能感受到差别——每个循环的升温时间都会大大缩短。