Làm thế nào để xử lý việc sấy khô wafer một cách hiệu quả: Bí quyết nằm ở các bộ phản xạ ánh sáng
Nếu bạn đang làm việc trong lĩnh vực sấy khô wafer, chắc hẳn bạn biết rõ những khó khăn mà công việc này mang lại. Bạn cần có sự phân bố nhiệt độ chính xác. Để đạt được điều đó, chúng ta sử dụng các bóng đèn hồng ngoại tia ngắn kết hợp với các bộ phản xạ ánh sáng đặc biệt.
Điều quan trọng là: trong các nhà máy sản xuất hiện đại, mọi người đều nói về việc sử dụng dữ liệu để kiểm soát nhiệt độ. Nhưng đó chỉ là giấc mơ nếu nguồn năng lượng được phân bố một cách lộn xộn, giống như hệ thống tưới nước bị hỏng vậy.
Hãy ngừng lãng phí năng lượng đi!
Hãy coi bộ phản xạ ánh sáng như một công cụ để điều chỉnh hướng của chùm tia ánh sáng. Nếu không có bộ phản xạ này, một lượng lớn bức xạ hồng ngoại sẽ bị lãng phí. Đó chính là sự lãng phí năng lượng.
Bằng cách tập trung chùm tia ánh sáng vào wafer, bạn có thể tạo ra mật độ nhiệt cao hơn ở chỗ cần thiết. Điều tuyệt vời nhất là bạn có thể giảm công suất của bóng đèn mà vẫn đạt được tốc độ sấy khô mong muốn. Điều này giúp tiết kiệm năng lượng.
Tất nhiên, lớp phủ trên bề mặt wafer cũng phải được xử lý một cách hoàn hảo. Chúng tôi thường sử dụng lớp phủ bằng vàng hoặc nhôm, vì chúng có khả năng phản xạ tia hồng ngoại tia ngắn tốt nhất. Nhưng bạn cần chú ý theo dõi lớp phủ này. Nếu lớp phủ bị bong tróc hoặc oxy hóa, thì sự đồng đều về nhiệt độ sẽ bị mất đi.
Tạo điều kiện thuận lợi cho các cảm biến và hệ thống điều khiển
Mọi người đều muốn có diện tích nhỏ hơn và dữ liệu chính xác hơn. Khi các bộ phản xạ ánh sáng hoạt động tốt, bạn không cần sử dụng quá nhiều bóng đèn để hoàn thành công việc. Điều này giúp tạo ra không gian cần thiết cho các cảm biến và hệ thống điều khiển. Hơn nữa, vì không cần làm nóng toàn bộ buồng, hệ thống làm mát cũng không cần phải hoạt động quá mức để duy trì nhiệt độ ổn định.
Nhưng cần lưu ý rằng: mật độ chùm tia ánh sáng càng cao thì nguy cơ xuất hiện các điểm nóng càng lớn. Bạn cần đảm bảo rằng các bộ điều khiển PID được thiết lập sao cho có thể xử lý những thay đổi nhiệt độ nhanh chóng. Nếu hình dạng của bộ phản xạ ánh sáng quá kém, wafer có thể bị hư hại trước khi các cảm biến kịp phát hiện ra vấn đề.
Giữ cho quy trình sản xuất diễn ra liên tục
Chúng tôi thiết kế các bộ phản xạ ánh sáng này sao cho chúng có thể thay thế một cách dễ dàng. Cuối cùng, mọi bộ phản xạ ánh sáng đều sẽ mất đi độ bóng của mình – thường do sự thoát khí hoặc ô nhiễm thông thường. Khi điều đó xảy ra, bạn chỉ cần thay thế chúng thôi. Không cần phải mất cả ngày để điều chỉnh lại toàn bộ hệ thống sưởi.
Chỉ cần đảm bảo rằng các bộ phản xạ ánh sáng được định vị chính xác. Đó mới là cách duy nhất để đảm bảo rằng dữ liệu mà bạn nhận được từ hệ thống số thực sự phản ánh đúng tình hình trên thực tế.