فیکٹری میں، حرارتی تغیرات کی وجہ سے کوئی الارم لائٹ نہیں جلتی؛ بلکہ اس کا اثر پروڈکشن کے معیار پر پڑتا ہے، اور سی ڈی کنٹرول بھی متاثر ہو جاتا ہے۔ میٹسن آر ٹی پی لیمپوں کو ایسے ہی ڈیزائن کیا گیا ہے کہ وہ خشک کرنے اور فوٹو ریزسٹ کو گرم کرنے کے عمل کو مناسب حدود میں رکھیں۔
کیا اہم ہے؟
ہم شارٹ-ویو انفراریڈ ہیلوجن لیمپ استعمال کرتے ہیں، جن کے ارد گرد کوارٹز کی تہہ ہوتی ہے؛ اس سے درجہ حرارت میں ±0.1°C کی درستگی حاصل ہوتی ہے۔ یہ لیمپ ہزاروں گھنٹوں تک مستقل طور پر کام کرتے ہیں؛ ہمارے پاس ایسے لیمپ بھی ہیں جو 5,000 گھنٹوں سے زیادہ کام کر چکے ہیں، اور ان کی کارکردگی میں 5% سے بھی کم کمی واقع ہوئی ہے۔ چونکہ یہ لیمپ کام کرتے وقت کوئی ذرات خارج نہیں کرتے، اس لیے کلین روم میں ذرات کی تعداد کلاس 1–100 کے دائرہ میں ہی رہتی ہے۔
لیتھوگرافی میں اس کی اہمیت کیا ہے؟
لیتھوگرافی کے عمل میں، ایسا “سافٹ بیک” ضروری ہے جو محلول کو مؤثر طریقے سے نکال سکے، اور ایسا “ہارڈ بیک” بھی ضروری ہے جو فوٹو ریزسٹ کو مناسب طریقے سے سخت کر سکے۔ یہ لیمپ ایسی ہی کارکردگی فراہم کرتے ہیں، اور وہ ویفر کو جلدی اور یکساں طریقے سے خشک کرنے میں بھی مدد کرتے ہیں۔ اس کے نتیجے میں فضول مال کم ہوتا ہے، دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہوتی ہے، اور ہر بیچ میں استعمال ہونے والی توانائی بھی کم ہوتی ہے۔
نصب کرتے وقت کن باتوں کا خیال رکھنا ضروری ہے؟
نصب کرنا آسان ہے، لیکن لیمپ کی سمت اور ریفلیکٹر کی ہم آہنگی کی جانچ ضروری ہے؛ غلط ہم آہنگی سے مقامی حرارتی مسائل پیدا ہو سکتے ہیں۔ یقین کریں کہ بیس کنیکٹر، وولٹیج اور کولنگ سسٹم آپ کے چیمبر کے مطابق ہوں، اور باقاعدگی سے آپٹیکل معائنے بھی کرتے رہیں۔ اس طرح عمل کو بہتر طریقے سے کنٹرول کیا جا سکتا ہے۔