باہر کی دنیا میں، تھرمل ڈرفٹ کوئی لیبارٹری میں استعمال ہونے والی چیز نہیں ہے؛ بلکہ یہ ایک سنجیدہ مسئلہ ہے۔ جب آپ RTP عمل کو چلاتے ہیں، تو اس ہیلوجن لیمپ کو تیز رفتاری سے حرارت فراہم کرنی ہوتی ہے، اور اس عمل میں کسی قسم کے ذرات کا اخراج نہیں ہونا چاہیے۔
در حقیقت، کیا اہم ہے؟
ہم اس لیمپ کو اعلیٰ خالصیت والے ہیلوجن فلامنٹ کے ارد گرد تیار کرتے ہیں، اور اسے کوارٹز کے خول میں رکھتے ہیں۔ اس طرح مختصر ترین ویوز کے ذریعے حرارت فراہم کی جاتی ہے، جس سے درجہ حرارت تیزی سے اور پیشن گوئی کے مطابق تبدیل ہوتا ہے۔ اس سے پروسیس کے دوران درجہ حرارت میں ±0.1°C کی حد تک یکسانیت برقرار رہتی ہے، جس سے تھرمل بجٹ برقرار رہتا ہے۔ یہ لیمپ کلین روم کے ماحول کے لئے مناسب ہے، اور اسے کلاس 1-100 کے ماحول میں بھی استعمال کیا جا سکتا ہے۔ اس کے علاوہ، یہ لیمپ کسی قسم کے ذرات کے اخراج کے بغیر ہی کام کرتا ہے۔
آپ 5,000 گھنٹوں سے زیادہ تک مستقل کارکردگی کی توقع کر سکتے ہیں، اور انٹینسٹی میں 5% سے کم تغیر ہوتا ہے۔ اس کے علاوہ، اس کی رفتار اتنی تیز ہے کہ غیرضروری وقت کم ہو جاتا ہے۔
روزمرہ کے کاموں میں اس کی اہمیت کیا ہے؟
ویفر کو خشک کرنے، فوٹوریزسٹ کو نرم/سخت کرنے، پیکیجنگ کے عمل، اور صفائی کے بعد خشک کرنے جیسے عملوں میں قابل اعتماد حرارت بہت ضروری ہے۔ یکسان درجہ حرارت سے لیتھوگرافی کے عمل میں بہتری آتی ہے، اور اہم ابعاد کو بہتر طریقے سے کنٹرول کیا جا سکتا ہے۔ تیز اور قابل تکرار چکروں سے آلہ بغیر کسی رکاوٹ کے کام کرتا رہتا ہے۔
کسی قسم کے ذرات کے اخراج سے خرابیوں کی تعداد کم ہو جاتی ہے، جس سے پیکیجنگ کے دوران بھی مصنوعات کی کوالٹی برقرار رہتی ہے۔ یہ لیمپ مختلف عملوں میں بھی مستقل تھرمل پروفائل فراہم کرتا ہے، جس سے پائلٹ سے پروڈکشن میں منتقلی میں کوئی مشکل پیش نہیں آتی۔
کچھ اہم نکات:
نصب کرتے وقت تھرمل کپلنگ اور شیلڈنگ پر خصوصی توجہ دینی ضروری ہے۔ لیمپ بہت گرم ہوتا ہے، اور اگر اس کی مناسب دیکھ بھال نہ کی جائے، تو آس پاس کے پولیمرز اور تار جلد خراب ہو جاتے ہیں۔ لیمپ کو RTP چیمبر کے ریفلیکٹر ساخت کے مطابق ہی رکھنا ضروری ہے، اور کنٹرولر کے پائرومیٹر کی بینڈوتھ کو بھی مناسب طریقے سے سیٹ کرنا ضروری ہے؛ ورنہ تذبذب پیدا ہو سکتا ہے۔
وولٹیج اور کنکٹر کی خصوصیات کو اپنے آلے کے مطابق چیک کرنا ضروری ہے، اور کلین روم میں داخل ہونے کے وقت کی منصوبہ بندی بھی ضروری ہے۔ تبدیلی کے وقت کو پہلے ہی طے کرنے سے آلہ کی کارکردگی مستقل رہتی ہے، اور اس کی قابل تکراریت بھی برقرار رہتی ہے۔