فیبریکیشن فلور پر، 12 انچ کا ویفر موجود ہے، جو اپنی فوٹوریزسٹ سطح کو گرم کرنے کا انتظار کر رہا ہے۔ آپ جانتے ہیں کہ اس عمل میں کتنی اہمیت ہے؛ سطح کے درجہ حرارت میں 1 ڈگری کی تبدیلی بھی پروڈکشن کے معیار کو متأثر کر سکتی ہے۔ لہذا، ضروری ہے کہ حرارت تیزی سے پہنچے، لیکن اس سے کوئی ذرہ بھی حرکت نہ کرے۔
تکنیکی اعتبار سے کیا اہم ہے؟
ہمارے شارٹ ویو انفراریڈ لیمپ، حرارت کو براہِ راست فوٹوریزسٹ اور سبسٹریٹ میں پہنچاتے ہیں؛ کنوکشن کا انتظار کرنے کی ضرورت نہیں ہے۔ SWIR بینڈ میں اخراج کی شدت ایسی ہے کہ یہ نامیاتی فلموں اور سلیکون میں مؤثر طریقے سے جذب ہو جاتی ہے؛ لہذا، 30 سیکنڈ سے بھی کم وقت میں درجہ حرارت کو مطلوبہ سطح پر لایا جا سکتا ہے۔ ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کی یکسانیت ±0.1 ڈگری کے اندر رہتی ہے، اور ایک بار پروسیس کرنے کے بعد دوبارہ پروسیس کرنے پر بھی یہ معیار ±0.2 ڈگری سے زیادہ نہیں بدلتا۔
کلین روم کلاس 1–100 برقرار رہتی ہے۔ کوارٹز کی ساخت اور ریفلیکٹر کی ساخت ایسی ہے کہ کوئی ذرہ پروسیس میں داخل نہ ہو سکے، اور 5,000 گھنٹوں سے زیادہ کے استعمال کے بعد بھی آؤٹ پٹ میں 5% سے کم کمی ہوتی ہے۔
لیتھوگرافی میں اس کی کیوں اہمیت ہے؟
لیتھوگرافی میں، “سافٹ بیک” سے حل کی سطح کنٹرول ہوتی ہے، جبکہ “ہارڈ بیک” سے تصویر کو محفوظ کیا جاتا ہے۔ SWIR کی مدد سے حل کو صاف کیا جا سکتا ہے، بغیر فلم کو نقصان پہنچائے؛ اس سے غیرضروری لہروں اور گندگی کو کم کیا جا سکتا ہے۔ ردِعمل بہت تیز ہے، لہذا پروسیس کے درمیانی وقت کم ہو جاتا ہے، اور کرنٹ سائیکل کا وقت بھی کم ہو جاتا ہے – بغیر کرنٹ سائیز کنٹرول کو نظرانداز کیے۔
حرارت صرف ضرورت کے وقت ہی فراہم کی جاتی ہے، نہ کہ مسلسل؛ اس لیے توانائی کی کھپت کم ہوتی ہے۔ اس کے نتیجے میں، دوبارہ پروسیس کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے، کرنٹ سائیز کا معیار برقرار رہتا ہے، اور توانائی کا استعمال بھی منصوبہ بند کیا جا سکتا ہے۔
کن چیزوں پر توجہ دینے کی ضرورت ہے؟
انسٹالیشن کے دوران آپٹیکل الائنمنٹ اور فاصلے کو درست رکھنا ضروری ہے؛ اگر یہ غلط ہو جائے، تو ہاٹ اسپاٹس پیدا ہو جاتے ہیں۔ SWIR کی شدت بہت زیادہ ہے، لہذا آپریٹر کی حفاظت کے لیے سیفٹی سسٹم ضروری ہے۔
یہ لیمپ استاندارد سیمی کنڈکٹر ٹولز سے مطابقت رکھتے ہیں، لیکن انٹیگریشن کے دوران ایگزاسٹ، کولنگ اور وولٹیج کی سٹیبلٹی کو بھی مدِنظر رکھنا ضروری ہے۔ اگر یہ چیزیں درست رہیں، تو درجہ حرارت کی یکسانیت برقرار رہتی ہے۔