На заводі з виробництва печатних плат теплові відхилення не проявляються через спеціальні сигнали тривоги. Вони проявляються у зниженні якості продукції та у неконтрольованому русі параметрів CD. Лампи Mattson RTP розроблені таким чином, щоб забезпечити стабільні умови для процесів сушіння та обробки фотополімерів – саме в тих межах, в which вони і повинні перебувати.
Що є важливим при експлуатації
Ми використовуємо галогенні лампи з короткохвильовим інфрачервоним випромінюванням, які мають кварцову оболонку. Це дозволяє досягти стабільної температури на поверхні пластини ±0,1°C протягом усього процесу. Крім того, ці лампи забезпечують стабільну потужність протягом тисяч годин експлуатації – у нас є пристрої, які працюють понад 5 000 годин зі зниженням потужності менше ніж на 5%. Оскільки ці лампи не виділяють частинок під час роботи, рівень частинок у чистій кімнаті залишається в межах класу 1–100.
Чому це важливо для літографії
У літографічному обладнанні необхідний процес „м’якого випалювання“, який ефективно видаляє розчинники, а також процес „жорсткого випалювання“, який забезпечує правильну фіксацію фотополімеру без значних відхилень. Ці лампи забезпечують таку стабільність, а також сприяють швидкому та рівномірному висушуванню пластин. Це дозволяє скоротити кількість бракованої продукції, зменшити кількість переробок та знизити енергоспоживання за одну партію продукції завдяки ефективному передаванню енергії та швидкому досягненню стабільних умов.
Деталі, на які потрібно звернути увагу під час встановлення
Встановлення є простим, але необхідно перевірити орієнтацію лампи та вирівнювання відбивача під час заміни. Неправильне вирівнювання може призвести до появи локальних точок підвищеної температури та відхилень. Обов’язково переконайтеся, що контакти, напруга та система охолодження відповідають характеристикам вашої камери. Також необхідно проводити періодичну перевірку оптичних елементів. Раннє виявлення проблем дозволяє уникнути складнощів у контролі процесу.