На виробничій лінії не можна дозволяти собі чекати після процедури промивання. Будь-яка залишена вода сприяє появі частинок, що може призвести до зниження якості поверхні пластини ще до початку процесу літографії. Процес сушіння займає багато часу, що впливає на продуктивність та створює додаткові проблеми. Ми створили лампу для швидкого сушіння, щоб скоротити час та зберегти поверхню пластини у недоторканному стані.
Що є важливим у цьому пристрої
Ми використовуємо інфрачервоне світло короткої та середньої довжини хвилі, налаштоване так, щоб енергія швидко та без контакту потрапляла на поверхню пластини. У активній зоні температура пластини залишається стабільною в межах ±0,1°C, що допомагає зберегти структуру шарів на поверхні пластини. Повторюваність температури при кожному циклі також залишається в межах ±0,5°C, що гарантує точність процесу сушіння.
Цей пристрій підходить для приміщень класу від 1 до 100. Ми переконалися, що рівень частинок не перевищує 0,1 мікрона. У реальних умовах лампа працює 24/7 без перерв, а стабільність продуктивності залишається в межах 2% протягом 5 000+ годин.
Чому цей пристрій корисний на виробництві
Відразу після промивання лампа за кілька секунд видаляє воду з поверхні пластини. Це дозволяє без проблем передавати пластину на платформу для сушіння фотолітографічного матеріалу. Це скорочує час обробки та економить енергію, оскільки не потрібні додаткові процедури теплової обробки.
Оскільки температура починається з початкового рівня, що є стабільним, процеси м’якої та жорсткої сушіння відбуваються більш ефективно. Це дозволяє краще контролювати параметри обробки та підвищувати якість продукції. Результатом є більша кількість готових пластин на годину та менше відходів через наявність вологи.
Реальні умови використання
Лампа потребує живлення 24 В DC та спеціальної системи відведення повітря для охолодження приміщення. Існують комплекти для установки на основні платформи для обробки пластин. Алінгування з пластиною відбувається з точністю ±0,5 мм, тож необхідно, щоб інженер займався початковою налаштуванням.
Перед початком роботи необхідно провести 30-хвилинну процедуру налаштування для перевірки рівня температури на конкретній пластині.